陕西光电子先导院先进光子器件工程创新平台在西安启用

集微网消息，3月30日，陕西光电子先导院先进光子器件工程创新平台在西安启用。

中科创新消息称，该平台具备光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项核心工艺，将为光子产业项目提供产品研发、中试、检测等全流程技术服务。

先进光子器件工程创新平台占地30亩，总建筑面积约30000平方米，洁净厂房3000平方米，一期专业设备100余台（套），具备以GaAs（砷化镓）、GaN（氮化镓）为主线，围绕6英寸化合物芯片工艺服务能力的柔性中试平台；同时，为光电芯片、功率器件、射频器件等芯片设计企业、高校、科研院所提供外延生长、光刻、刻蚀、薄膜制备、清洗、减薄、抛光、划片等芯片制造全流程服务。

2015年10月，陕西省科技厅、西安高新技术开发区与中国科学院西安光机所联合西科控股、中科创星发起成立陕西光电子先导院。陕西光电子先导院先进光子器件创新平台系陕西省2022年重点建设工程。（校对/赵碧莹）