获14亿卢布资助，俄罗斯机构启动国产KrF光刻胶研发

集微网消息，据外媒报道，俄罗斯分子电子学研究所 (NIIME) 将获得约14亿卢布资金，用于承接俄工贸部多个专题科研项目。

NIIME将在俄罗斯从事掌握微电子工艺材料的生产，特别是NIIME成为实施研究工作“开发和掌握用于微电子生产的光刻材料的生产”公开竞标的获胜者，补贴为11亿卢布，其指向的正是光刻胶。

NIIME还以1.58亿卢布赢得了该部的研发竞标“开发和生产通过 X 射线荧光法测量金属阳离子污染的试剂”。研究工作“四甲基氢氧化铵生产技术的开发”为1.873亿卢布。在这两项竞标中，NIIME也是唯一的参与者。

NIIME的代表告诉媒体，该研究所正组织工作为光刻材料的开发创建储备。据该研究所的代表介绍，现在许多拥有自己微电子生产能力的国家，尤其是中国和韩国，都在努力建立或扩大光刻胶和其他化学品的生产，以避免对其他国家的依赖。现在全世界80%以上的光刻胶市场被日本和美国厂商占据。

工业和贸易部于2023年2月发布了材料开发和生产招标。作为工贸部下令的最昂贵研发的一部分，计划制造的光刻胶会配套光刻工艺中使用248 nm波长的激光。NIIME不仅要在这个方向上进行理论和实验工作，还要测试光刻胶的实验批次，并准备和掌握它们的生产。

值得注意的是，除了光刻胶本身，俄罗斯还计划到2026年花费57亿卢布，实现本土光刻设备制造。