南大光电：已建成年产5吨ArF干式光刻胶生产线

《科创板日报》29日讯，南大光电近期在接受投资者调研时表示，公司年产25吨的ArF高端光刻胶生产线尚未满产。正在抓紧ArF光刻胶产品认证和市场拓展工作，具体量产时间需根据订单情况确定。已建成年产5吨ArF干式光刻胶生产线、年产20吨ArF浸没式光刻胶生产线及年产45吨的光刻胶配套高纯试剂生产线，具备ArF光刻胶及配套关键组分材料的生产能力。目前公司送样验证的产品均由该自建产线产出，且已有两款产品分别在下游客户存储芯片50nm和逻辑芯片55nm技术节点的产品上通过认证，并实现少量销售。