光刻胶厂商徐州博康获数千万元投资，华为曾入股

据清枫资本消息，近日，清枫资本完成对国内高端半导体光刻胶厂商徐州博康的数千万元投资交割。此前据天眼查信息，徐州博康发生了工商变更，新增深圳哈勃为股东，注册资本从7600.95万元增至8445.50万元，增幅为11.11%。

资料显示，徐州博康成立于2010年3月25日，是一家集研发、生产、经营中高端光刻胶、光刻胶单体和光刻胶树脂为主的国家高新技术企业。公司生产基地位于江苏邳州，在上海松江拥有独立的研发中心。

徐州博康专注于光刻胶原材料到成品的自主研发及生产，实现了从单体、光刻胶专用树脂、光酸剂及终产品光刻胶的国产化自主可控的供应链。目前，徐州博康拥有ArF/KrF光刻胶单体、ArF/KrF光刻胶、G线/I线光刻胶、电子束光刻胶等产品，覆盖集成电路制造、后段封装、化合物半导体、分立器件、电子束等市场应用，研发储备全球80%的光刻胶单体产品技术，其中KrF光刻胶单体占全球份额超过20%。

在半导体光刻胶领域，徐州博康已研发高端ArF光刻胶26款，其中应用于通孔工艺的ArF湿法光刻胶，已经能够应用至40nm/28nm工艺节点，是国内第一款国产化的ArF湿法通孔光刻胶；徐州博康已研发高端KrF光刻胶30款，其中主要针对lift-off工艺的金属剥离负胶，底部倒角可控，是目前国内唯一可提供此类KrF的产品。此外，徐州博康已研发I线光刻胶15款，以及3大种类的电子束光刻胶，现已为数十家企业和高校提供标准化、定制化的电子束光刻胶产品。

据了解，徐州博康承担了国家“02专项”中的“ArF光刻胶单体产品的开发与产业化”的子课题，并得到成功验收。

2022年，徐州博康多款半导体光刻胶相继获得了国内12寸晶圆厂的订单，包括ARF-immersion、ARF-dry、KRF、I-line等，可应用于14-90nm制程节点。该公司2023年的重心是实现不同料号产品在主流晶圆厂的全面放量。

封面图片来源：拍信网