晶圆厂稼动率降 特殊气体氖、氙、氪气价格修正

随着半导体大厂纷纷下调产能利用率，特殊气体价格正在回归至正常水位，氖气价格已恢复到 2 年前水准，近期氙气、氪气价格也出现大幅修正，由于这些气体都是半导体产业关键气体，气体价格回温可望缓解半导体原料上涨压力。

南韩关税厅 13 日贸易统计显示，氪气在去年 5 月价格达到高峰，每公斤逾 1600 美元，较 2021 年初相比飙涨 5 倍多，不过，随后进口价格持续走低，今年 1 月进口价每公斤已低于 100 美元。

氙气也在去年 9 月创高，每公斤达 14000 美元，随后价格骤跌今年 1 月进口价格已低于每公斤 10000 美元，但还是较 2021 年初 2000 美元水平高出 4-5 倍，与去年同期相比价格也上涨 82%。

氙气、氪气沸点都高于氧气，因此处理需要经过更复杂高温、超低温的萃取过程，氪气是半导体制程重要气体，可用于化学气相沉积 (CVD) 制程，而氙气则是半导体制程成形后重要的蚀刻气体，也被使用于晶片堆叠制程中，以及医疗麻醉剂等。

南韩媒体指出，随着半导体市场景气放缓，三星、美光、台积电等晶圆大厂纷纷下调稼动率，使稀有气体使用量减少，加上先前供不应求状况正在缓解，南韩、国际气体厂纷纷在南韩建厂的消息，多少稳定市场价格。

不过，业内人士表示，由于半导体制程复杂，即使部分稀有气体价格下跌，制造成本也不会大幅下降，但与去年相比，半导体厂商处境明显好转。