爱发科：SiC设备成客户第一选择，多项措施保供

行家说三代半：过去一年，贵公司致力于哪些方面的努力？主要做了哪些关键性工作？

王禹：2022年是ULVAC公司成立70周年，ULVAC公司自成立以来，一直致力于为客户提供专业且完善的真空解决方案及服务。过去一年，第三代半导体的市场投资热情高涨，但由于受到新冠疫情的影响，全球供应链持续紧张，公司提出了多项改革优化措施，确保客户订单可以如期交付。

行家说三代半：2022年，贵公司更聚焦哪些领域？相比2021年，贵公司在市场开拓方面取得了哪些成绩？

王禹：2022年， ULVAC在第三代半导体的领域中投入了很多资源，其中SiC功率半导体器件中的离子注入、溅射、刻蚀及蒸镀设备(关联设备：IH-860PSIC、CS-200、uGmni-200E及ei-501z)被国内多家客户作为第一选择应用。GaN HEMT领域中，我们发布了新款uGmni系列干法刻蚀设备，实现GaN低速率高精度的刻蚀工艺。

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行家说三代半：2022年贵公司备受产业和市场的认可，也获得了“行家极光奖”，能否谈谈贵公司能够脱颖而出的优势有哪些？

王禹：首先非常感谢行家说和业内的专家朋友们对ULVAC的认可。任何行业的专家都需要不断学习和经验积累，而市场和客户就是我们最好的老师，我们坚持以市场为导向，客户需求为根基，从而进行设备硬件及工艺开发，满足市场需求，长期的经验积累和持续不断的研发学习，是ULVAC在行业里被认可的重要因素。

行家说三代半：2022年是第三代半导体产业关键的一年，您会有用哪些关键词来概括产业的发展？

王禹：作为产业链上游设备供应商，过去一年中“SiC投资扩产”令我印象深刻。SiC器件在新能源汽车、光电新能源、轨道交通等领域均存在广阔的应用前景。SiC市场快速增长的两大驱动力，一方面是新能源汽车加速渗透，800V高压快充平台加速布局，拉动车用SiC器件需求。另一方面是风光储拉动SiC器件需求。这两方面的需求促使SiC市场发展迅速。

行家说三代半：您认为，去年整个行业有哪些新变化和新动向？对行业带来哪些影响？

王禹：去年一年新增了很多家SiC/GaN企业，这对行业发展起到了积极促进作用，经过了几年时间的市场培育，现在一提起新能源汽车就会想到SiC，一提到快充就会想到GaN，这是行业内人员共同努力的成果。但是，相同产品必然会存在竞争，当供需接近平衡时候，就会面临更加严峻的挑战。因此，更希望看到行业内可以细分不同应用场景，多元化发展。

行家说三代半：2022年，行业内有很多的企业在扩张、在扩产，您怎么看这个现象？

王禹：根据目前市场的需求来看，短期内行业仍将处于供应不足的阶段，这也是去年投资扩产提速的原因之一。期间，我们也发现虽然投资很密集，但是很多企业也在不断寻找差异化，当然高端器件的研发一直是大家所追求的一个方向，我们也希望作为设备提供商可以在工艺上协助行业专家，共同开发出更高工艺难度的器件。

行家说三代半：能否为我们展望一下2023年第三代半导体行业的发展前景？

王禹：2023年SiC投资仍将继续，SiC如何实现“上车”将成为国内企业面临的一个重要问题。

GaN随着消费电子市场的回暖及更多场景下的应用，有望开启新的篇章。

行家说三代半：2023年，贵司有怎样的规划和目标？在未来哪些方面有些新的增长点？

王禹：2023年，我们在第三代半导体领域将会加大市场、研发等资源的投入，希望和行业内专家进行更多的合作交流。目前我们也在持续开发关于GaN领域的新技术，适当时候也会向大家做相关介绍，相关动态也请大家多多关注ULVAC。

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