韩厂高速Micro LED溅镀设备 外销京东方试水温

Tetos预定2023年9月对京东方供应新款Micro LED溅镀设备。Tetos

韩国Tetos开发出可大幅提高Micro LED显示器生产速度的侧面排线溅镀设备（Sputter），预定2023年9月对京东方供货，将投入京东方的智能手表、虚拟实境（VR）装置用Micro LED显示器生产。

据韩媒ET News报导，Tetos将在2023年9月对京东方供应新开发的Micro LED溅镀设备，每台单价为30亿韩元（约244万美元）。京东方拟利用此生产智能手表、VR装置的Micro LED显示器。

2020年Tetos开发出立体溅镀设备，将已经过离子束表面处理的玻璃基板直立，在真空腔体内蒸镀种子层（Seed Layer）、电镀层与保护层，只需维持一次真空环境。相对于采用电浆技术的溅镀设备，每次镀金属都要蒸镀3次，得维持9次真空状态，Tetos开发出立体溅镀设备较为省事。

随后Tetos又增加自动化功能，让立体溅镀的所有制程全面自动化，前置处理也能在真空环境自动执行，立刻进入腔体，省略基板投入的真空制程，使生产速度提高6倍。

Tetos认为，Micro LED在高端电视商用化后，还会扩大应用到穿戴型装置，因此期望以外销京东方为起点，加速进军海外市场。Tetos预估Micro LED市场对溅镀设备的需求上看1,000台，期待相关事业成长。

责任编辑：陈至娴