盛美上海：今年会推出多种膜的PECVD，在客户端进行验证

集微网消息，近日，盛美上海在接受机构调研时表示，我们的PECVD可以覆盖存储及逻辑客户，今年会推出多种膜的PECVD，在客户端进行验证。部分PECVD的核心零部件来自海外的供应链。

盛美上海指出，PECVD有些工序时间长，有些工序时间短，我们会根据PECVD具体所属工艺长短来设计配备腔体的多少，有些膜需要很多层比较厚，所需时间长，需要腔体就多，单层较薄，需要时间短，腔体就少。我们主要做的是优化性价比并同时满足客户端的要求，二者共同决定腔体配置问题。补充一点，公司这个设备未来是要做PECVD的大部分工艺。

盛美上海称，今年希望有多台设备和多个客户进行合作，用并行的方式对工艺进行并行验证，同时看与客户的合作进度。如果合作顺利的话，希望能覆盖30%到50%，然后再继续发展。

关于哪些零部件是比较难实现国产化，盛美上海表示，主要是一些阀，如真空阀、真空泵等，这些公司也在做一些应对工作。此外机械手也是重要的一块，目前这个部分是找韩国一家核心供应商做的。未来公司还会持续发展追求多样化，争取拥有自己的特点。核心的机械手请几家公司来做，一般的常用的机械手可以开放地选择供应商。

关于PECVD设备的国产化，盛美上海指出，目前部分采用进口零部件，同时国产零部件供应商也在开拓中，有些国产零部件也会逐步试用起来，相信在不远的将来公司核心零部件也会替换为国产产品，但这需要一个过程。一些要求不算太高的可以尝试采用国产零部件，当国产零部件还不能完全胜任要求时会优先采用进口的。

据盛美上海透露，设备目标对应的全球客户，包括国内。现阶段这一台设备肯定是国内客户。韩国方面，公司在韩国有一些研发和生产，并且公司和海力士有过往渊源。公司也希望能靠差异化技术尽快进入它的核心工艺线，但不能保证明年做到。其实全球的客户需要的都是最好的技术，如果公司差异化方案能让客户感兴趣，那就是有希望的。现阶段公司已经有专利的布局和设计的底蕴在，也希望能得到国际客户的认可，早日进入国际客户进行验证。

盛美上海称，PECVD的价格不同，毛利也不同，现阶段还是在40%-45%之间，在未来随着技术的进一步提升和客户的认可，可能提升到45%-50%区间。