光刻胶 | YOUNGCHANG化学、SK材料正在研发EUV光刻胶

来源：TechWeb

12 月 7 日消息，据国外媒体报道，本周早些时候，有外媒在报道中称，多年前就已在尝试重构 EUV 光刻胶供应链的三星电子，已经首次将韩国本土厂商东进世美肯的 EUV 光刻胶，用于他们的一条量产工艺线。

而从外媒的报道来看，除了已经用于三星电子一条量产工艺线的东进世美肯，韩国还有两家公司在进行 EUV 光刻胶的研发。

外媒在报道中提到的两家公司，分别是YOUNGCHANG化学和Sk材料，但这两家公司研发的 EUV 光刻胶，还没有达到进行可靠性验证的水平。

三星电子等韩国半导体厂商尝试重构 EUV 光刻胶供应链，与 2019 年日本对韩国关键的原材料及设备的出口限制有关，其后韩国公司就开始尝试本土供应。

产品已经进入三星电子一条量产工艺线的东进世美肯，就是在三星电子尝试重构 EUV 光刻胶供应链之后，开始相关产品的研发的，他们所研发的 EUV 光刻胶，在三星电子的华城园区进行了几个月的验证，在去年年底通过了可靠性验证。

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