【一周招/中标】上海积塔新增设备招标56台，燕东微电子新增设备招标14台，北京烁科新增中标设备4台

集微网消息，本周，上海积塔新增设备招标56台，燕东微电子新增设备招标14台，新昇半导体新增设备招标9台，华虹半导体新增设备招标4台；北京烁科新增中标设备4台，北方华创新增中标设备2台，东京电子新增中标设备22台，应用材料新增中标设备10台，KLA新增中标设备9台。

重要招标数据：

本周招标86台设备，其中，光刻设备1台，刻蚀设备1台，薄膜沉积13台，工艺检测17台，CMP 2台，热处理12台，清洗设备20台，涂胶显影1台，其他设备19台。

重要中标数据：

本周中标52台设备，其中，刻蚀设备2台，薄膜沉积3台，工艺检测12台，离子注入7台，CMP 4台，涂胶显影5台，其他设备19台。

本周重点企业动态：

近日，沪硅产业发布公告称，子公司上海新昇半导体科技有限公司及其控股子公司上海新昇晶睿半导体科技有限公司拟与供应商江苏鑫华半导体科技股份有限公司签订约8.89亿元电子级多晶硅采购框架合同；新微半导体联合中国科学院上海微系统与信息技术研究所、上海理工大学等单位共同筹备的上海太赫兹化合物半导体器件及应用工程技术研究中心揭牌。

以下是本周部分招标信息汇总：

以下是本周部分中标信息汇总：

（校对/韩秀荣）