上海微技术工研院8英寸MEMS传感器加工中试平台项目启动

集微网消息，8月26日，由上海新微技术研发中心有限公司牵头承担的国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“8英寸MEMS传感器加工中试平台”项目启动暨实施方案论证会在上海召开。

图源：上海微技术工研院

上海微技术工研院官方消息显示，本项目将针对核心MEMS传感器定制化加工需求，建成工艺能力完善、服务能力强的8英寸MEMS传感器加工中试平台，为广大高校、科研院所、MEMS Fabless企业等提供高效率、高质量研发中试服务，为量产客户提供定制化、小批量的流片服务。

据悉，上海微技术工业研究院成立于2013年，由上海市科委、嘉定区和中科院上海微系统所发起成立，是集研发、工程、培育于一体的研发与转化功能型平台，拥有全国首条8寸“超越摩尔”研发中试线，提供MEMS工艺、AlN、硅光、微流控和BTIT等“超越摩尔”核心技术工艺，为设计、设备、材料企业提供高效的研发和中试服务，实现从研发到小批量量产无缝对接。（校对/韩秀荣）