全硅MEMS振荡器及惯性传感器产业化基地项目落户珠海

1全硅MEMS振荡器及惯性传感器产业化基地项目落户珠海

2022年11月11日，珠海高新区11月重点项目及第二批入驻5.0产业新空间项目签约仪式举行，其中包括全硅MEMS振荡器及惯性传感器产业化基地项目。

珠海高新区消息显示，该项目致力于全硅MEMS振荡器的国产化研发及生产，自主研发各种MEMS时钟及惯性传感器等产品，上海设有研发中心。团队规模约30人，研发团队90%以上为硕博士。

据介绍，该项目计划在珠海高新区开展全硅MEMS振荡器、惯性传感器和MEMS扬声器的研发和量产、MEMS封测线建设等业务。

集成电路是珠海高新区的重点发展产业之一，围绕“以设计为核心，以化合物半导体为突破，以健全封测产业链为抓手”的集成电路产业发展定位，已引进集创北方、奥松电子、威兆等强链项目。

去年4月29日，奥松半导体（珠海）有限公司首期投资30亿元的8英寸先进MEMS特色半导体IDM产业基地项目签约仪式在珠海（国家）高新技术产业开发区管委会隆重举行。该项目的落地标志着珠海市集成电路产业发展的重要历史性时刻，对珠海市加快打造以集成电路产业为首的“五大千亿级产业集群” 具有重大意义。

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MEMS是Micro Electro Mechanical System的缩写，简称微机电系统，是按功能要求在芯片上把微电路和微机械集成于一体的系统。

MEMS基于光刻、腐蚀等传统半导体技术，融入超精密机械加工，并结合力学、化学、光学等学科知识和技术基础，使得一个毫米或微米级的MEMS具备精确而完整的机械、化学、光学等特性结构。

MEMS产品主要可以分为MEMS传感器和MEMS执行器，其中传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的器件，而执行器是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件。

图：MEMS传感器大致分类

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