【专利解密】华映科技提出应用在OLED显示面板上的掩膜板贴合方案

【爱集微点评】华映科技公开的应用在OLED显示面板上的掩膜板贴合系统及方案，该方案能够保证金属掩膜板四个角平衡地贴合在衬底玻璃基板上面，既不产生缝隙，也不会压弯衬底玻璃基板，从而大大提高产品的质量。

集微网消息，OLED显示面板制程中，通常用金属掩模板蒸镀方式在衬底基板上形成有机功能层，金属掩模板和衬底基板的贴合情况会影响蒸镀的质量，最终影响OLED面板显示的质量。

金属掩模板由外层的框架和中间的金属掩模组成，需要保证框架紧密贴合在衬底玻璃基板的情况下才能确保中间的掩膜可以更紧密的贴合。在现有技术中，由于使用位置控制金属掩膜板，没有办法确认掩膜板框架是否与衬底玻璃贴合，从而会影响面板的显示质量。

而使用位置控制掩膜板与衬底玻璃基板进行贴合时，由于掩膜板尺寸与掩膜板位置均存在误差，设置的掩膜板位置会导致掩膜板与衬底玻璃基板有缝隙，或者掩膜板压到衬底玻璃上导致衬底玻璃被压弯。同时，由于位置控制同样不能保证掩膜板的贴合情况在四个角上是相同的，也影响掩膜板和衬底玻璃基板的对位，使蒸镀的像素点偏离设计的位置，影响面板显示的质量。

为解决该问题，华映科技在2022年8月2日申请了一项名为“一种掩膜板贴合系统及其贴合方法”的发明专利（申请号：202210921890.4），申请人为华映科技（集团）股份有限公司。

根据该专利目前公开的相关资料，让我们一起来看看这项技术方案吧。

如上图，为该专利中公开的掩膜板贴合系统的结构示意图，该贴合系统包括：支撑框1、左A压力传感器2、左B压力传感器3、右A压力传感器4、右B压力传感器5、金属掩膜板6和衬底玻璃基板7。

支撑框四角表面分别设置有左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器。金属掩膜板设置在支撑框的上方，且金属掩膜板的四角分别架设在对应的左A、左B、右A和右B压力传感器上。衬底玻璃基板设置在金属掩膜板的上方，并通过蒸镀机的升降机构将支撑框和金属掩膜板抬起并与衬底玻璃基板相贴合。

在该专利中，还公开了一种掩膜板贴合系统的贴合方法。首先，在上方架设有金属掩膜板的支撑框处于静止不动时，测得四个压力传感器的平衡力值。由于各传感器测得的力值为平衡力，四个压力传感器测得的各压力值为金属掩膜板重力的四分之一。需要说明的是，由于金属掩膜板可能存在重心偏移，四个压力传感器测得的力值可能不相同。

其次，设定四个传感器所在的当前位置，由于该方案不考虑金属掩膜板在平面上的移动，仅考虑掩膜板的升降，因此只需要在z轴上进行描述。接着，蒸镀机通过升降机构将支撑框和金属掩膜板抬高到靠近待蒸镀的衬底玻璃基板处的平衡位置，该位置为贴合过程的平衡位置，即为四组压力传感器的初始位置，且四个传感器的当前位置均设定为同一数值。

最后，升降机构继续上升直到金属掩膜板贴合衬底玻璃基板，并同时监测左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器所在位置上方处的金属掩膜板与衬底玻璃基板的贴合位置，则这些贴合位置的点确定的平面即为金属掩膜板完全贴合沉底玻璃基板且不会压弯衬底玻璃基板的位置。

以上就是华映科技公开的应用在OLED显示面板上的掩膜板贴合系统及方案，该方案能够保证金属掩膜板四个角平衡地贴合在衬底玻璃基板上面，既不产生缝隙，也不会压弯衬底玻璃基板，从而大大提高产品的质量。

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（校对/赵月）