半导体装备国产化！浙江埃纳VPD-ICPMS全自动一体化机台交付西安奕斯伟和中环领先

• 第五届中国半导体大硅片论坛将于2022年11月18日在苏州召开。

• 来自沪硅产业、上海超硅、中欣晶圆、鑫华半导体、欢芯鼓伍、安捷伦、梅特勒托利多、浙江埃纳的专家将发布半导体大硅片相关主题的演讲。

近日，浙江埃纳VPD-ICPMS全自动一体化机台交付西安奕斯伟和中环领先，西安奕斯伟订购的机台于10月下旬交付，已完成move in，正在加紧进行性能调试。中环领先订购的机台即将发货，这也是中环领先从埃纳订购的第3台全自动一体化机台。据了解，埃纳公司引进韩国先进技术，进行本土化生产，提供本土化服务。埃纳公司自主研发的VPD集成Agilent ICPMS是全自动一体化机台，可以最大程度避免测试分析过程中引入外界污染。

浙江埃纳检测技术有限公司是专业从事半导体微污染物检测设备研发与生产的高新技术企业。2021年通过引进国际先进技术进行半导体装备国产化，在晶圆、气体和化学品领域，开发具有国际技术领先的金属污染检测设备、离子污染检测设备和有机污染物检测设备，为全球半导体、显示领域的制造商及原材料供应商提供先进的产品解决方案和服务。主要客户有三星、SK海力士、宜兴中环、长江存储、西安奕斯伟、Air Liquid等。

随着IC器件特征尺寸不断缩小，先进制程对晶圆表面超痕量金属离子控制水平非常苛刻。IC芯片制造过程中，半导体非视觉缺陷所造成的产量损失，金属污染达到了50%以上。浙江埃纳先进的半导体晶圆金属污染物测试系统，为客户提供最优的晶圆金属污染物监测一体化解决方案。埃纳全自动VPD-ICPMS机台是24小时无人值守检测系统，全自动实时连续测试进一步提升了检测能力。一体化集成技术先进，测试液通过密闭系统直接输送至ICP-MS，降低了污染的可能性。

浙江埃纳在浙江省海宁市建设了先进的半导体装备生产线和高级洁净实验室，将国际先进的技术转移到国内，依托强大的研发团队进行技术转移，研发制造国产化、本土化的半导体装备，从而打破该领域长期被国外厂商垄断的局面。高级洁净实验室的设立，为客户提供技术培训、样品测试和样机操作服务，进一步加深对埃纳VPD-ICP-MS全自动一体化测试机台的客户体验。

第五届中国半导体大硅片论坛将于2022年11月18日在苏州召开。来自浙江埃纳的专家将出席并做题为“晶圆金属检测国产化的规划与思考”的演讲。

2021年半导体行业迎来超级景气周期，硅片需求持续旺盛，全球半导体硅片出货面积达142亿平方英寸，同比增长14%，市场规模达140亿美元。硅片行业高度集中，5大厂商（信越、Sumco、Siltronic、环球晶圆、SK Siltron）市场份额接近90%。

受益于产业链转移，2021年中国国内半导体材料销售额近120亿美元，同比增长22%，半导体材料产业迎来新一轮上升周期，大硅片占据重要份额。国内代表性企业沪硅产业、立昂微、中环、中欣晶圆、奕斯伟、鑫晶等纷纷扩充200mm与300mm硅片产能。2022年上半年市场火热，龙头企业的200mm硅片产能利用率高，300mm硅片产品的销量增长显著。

自动驾驶、AI等新兴产业将给半导体及大硅片带来哪些机遇？全球经济的不确定性，如何影响半导体硅片需求变化？美国芯片法案对国内半导体产业链将有哪些影响？企业该如何未雨绸缪，应对新一轮的机遇与挑战？

第五届中国半导体大硅片论坛将于2022年11月18日在苏州召开。

会议由亚化咨询主办，多家领先大硅片企业和相关材料、设备商参与。重点探讨新形势下全球与中国半导体大硅片市场格局，大硅片项目规划与建设进展，供需与价格趋势，制造技术与关键材料、设备，以及电子级多晶硅最新进展等议题。

最新日程：

第五届中国半导体大硅片论坛2022-会议日程

11月18日，苏州

锐意进取满帆前行的国产大硅片

——上海硅产业集团股份有限公司（已定）

美国芯片法案与四方联盟（Chip4）对中国大陆芯片发展的影响

——罗仕洲博士欢芯鼓伍创始人（已定）

12吋CIS用硅片的特点简介

——杭州中欣晶圆半导体股份有限公司（已定）

轻掺硅片的生产及应用

——上海超硅半导体有限公司（已定）

全球电子级多晶硅市场及供应格局

——江苏鑫华半导体材料科技有限公司（已定）

硅基材料无机元素分析新进展

——安捷伦科技有限公司（已定）

主题待定

——梅特勒托利多科技（中国）有限公司（已定）

晶圆金属检测国产化的规划与思考

——浙江埃纳检测技术有限公司（已定）

大硅片行业现状与国内企业进展

——亚化咨询（已定）