EUV光罩检测设备厂Lasertec 美国新禁令影响轻

3纳米以下先进制程半导体的投资，仍在持续成长。ASML

日本半导体设备厂Lasertec表示，虽然美国2022年10月对国内发出新的半导体技术出口禁令，但对于Lasertec影响不大，因为国内客户营收占比在10%以下。

目前半导体业虽陷入不景气，但中长期的数码化趋势下先进制程半导体仍会持续成长，因此3纳米以下的相关投资仍在明显成长。

美国商务部对于国内半导体技术加强管制的新一波措施下，部分日本半导体厂正在评估影响，也有一些厂商被认为将受到冲击。例如东京威力科创(TEL)主力事业是半导体制造设备(SPE)，国内营收占比20~25%左右，市场认为有可能会受到美国新禁令的影响。测试设备大厂爱德万测试(Advantest)的国内营收占比，也接近东京威力科创的水准。

但有的厂商或许能避开冲击。Lasertec的主力产品，是先进制程所使用的极紫外光(EUV)光罩检测设备，市占几乎为100%，由于这项产品主要供应台积电、三星电子(Samsung Electronics)、英特尔(Intel)等少数客户，很少供应国内客户。国内无法引进只有ASML能生产的EUV微影设备，自然用不到EUC光罩检测设备。

日经新闻(Nikkei)报导，由于Lasertec在国内市场的销售额只有总营收的1成或以下，Lasertec社长冈林理表示，目前美国的新禁令影响不大。

不过，东亚地缘冲突的紧张关系持续下去，仍会引发Lasertec的焦虑。冈林理担心事态不断升级，会形成笼罩台湾的危机，Lasertec在国内也有客户，将无法获得产品服务。但另一放面，地缘紧张引起的半导体产业回归各国生产的趋势，将使检测设备卖到世界各地，后续维修服务的需求正在增加。

在半导体业的景气方面，虽然目前市况不佳，但中长期来看先进半导体在基础设施领域将大量使用，将带动半导体市场成长，包括5G、物联网(IoT)传感器、电动车等需要由半导体驱动的数码化需求将会持续扩大。目前看来，3纳米以下先进制程的投资，仍有明显的成长。

到2022年9月底，Lasertec的未出货订单额4,066亿日圆，比2021年同期多出73%。Lasertec预估，EUV光罩检测设备的订单今后后仍会维持高水准并带动业绩。

此外，Lasertec现在正在发展的检测设备，是用在节能技术相关领域，例如功率半导体、电池等，以开拓半导体先进制程之外的市场。

责任编辑：张兴民