中微公司：全球第500台MOCVD设备顺利付运

10月25日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）宣布，全球第500台MOCVD设备顺利付运国内领先的LED外延片和芯片研发生产制造商。

中微公司表示，本批次运付的第500台MOCVD设备为公司2021年6月推出的Prismo UniMax®，主要用于氮化镓基Mini LED外延片量产。随着近些年来光电产业的飞速发展，Mini LED已广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。

官方介绍称，Prismo UniMax®是专为高性能Mini LED量产而设计的MOCVD设备，其具备高产能和高灵活性的特点，在同一系统中可配备多达4个反应腔，每个反应腔均可实现独立控制。Prismo UniMax®配置了785mm大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计配置，最多可实现同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高产能并降低生产成本。此外，Prismo UniMax®创新的多区辅助加热调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度提升LED波长均匀性。

据了解，目前，中微公司开发的一系列MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上已全面投入量产。Prismo UniMax®是MOCVD设备系列新一代产品，该产品系列还包括Prismo D-BLUE®、Prismo A7®、Prismo HiT3®和Prismo PD5®。2013年，中微公司率先发布国内自主研发制造的量产型MOCVD设备Prismo D-BLUE®。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相继推出了Prismo A7®、Prismo HiT3®、Prismo UniMax®和Prismo PD5®产品。

中微公司副总裁兼MOCVD产品事业部总经理郭世平表示，中微公司开发的一系列MOCVD设备，获得了客户与市场的广泛认可，部分产品在细分领域市占率达到全球排名第一。

封面图片来源：拍信网