博顿光电完成数千万元Pre-B轮融资，聚焦新型离子源及离子束装备

集微网消息，36氪消息显示，近日，博顿光电完成数千万元Pre-B轮融资，投资方为中芯聚源股权投资管理（上海）有限公司。本轮资金将主要用于扩大已批量生产产品的产能、新产品研发、工艺应用开发与示范。

博顿光电成立于2016年，是一家专业从事新型离子源及离子束装备关键技术研发、设计和制造的企业，其核心团队在光电技术与微纳加工高端装备制造领域具备专业技术研发与设计能力。

据悉，博顿光电的主营业务与产品为：各类高端离子源设备产品：RF射频离子源、中空阴极霍尔离子源、IBF专用离子源、其他特种离子源；离子束微纳加工装备产品与解决方案提供：离子束薄膜沉积、刻蚀及表面处理；纳米薄膜器件、光栅器件等纳米光电元器件的工艺方案开发与服务。（校对/韩秀荣）