中电科集成电路装备核心技术发展研究中心揭牌成立

集微网消息，9月28日，中电科集成电路装备核心技术发展研究中心揭牌成立。

电科装备消息称，该中心面向国家战略急需，聚焦集成电路装备核心技术研发，瞄准制约集成电路装备自主创新发展的瓶颈短板，构建具有行业领先水平的技术研究和综合集成试验验证平台；联合国内外优势资源，深化产学研用结合，整合创新链、产业链、供应链上下游协调发展，打造集成电路装备原创技术策源地，推动创新力量集群化、装备技术体系化和科技成果产业化。

中电科电子装备集团有限公司成立于2013年，以集成电路制造装备、新型平板显示装备、光伏新能源装备和太阳能光伏产业为主，具备集成电路局部成套和系统集成能力以及光伏太阳能产业链整线交钥匙能力；形成以离子注入机、平坦化装备（CMP）等为代表的微电子工艺设备研究开发与生产制造体系，涵盖材料加工、芯片制造、先进封装和测试检测等多个领域。（校对/姜羽桐）