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来源:半导体行业联盟发布时间:2022-09-071236浏览
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台积电:关闭4台EUV
台积电传出拟关部分极紫外光(EUV)设备,美系外资示警遭砍单,半导体设备商指为进行设备升级与维护,推测先进製程产能提升18%。
台积电内有约80台EUV设备,用于生产7奈米、5奈米晶片,9月开始用于3奈米製程。
美系外资指出,近期台积电面临客户库存调节及製程转换,资本支出跟着下调,但以美元计明年营收仍能成长5%、每股税后盈馀略降8%;但调整过后3~5年,先进製程仍领先同业,维持加码评等。

晶圆代工龙头台积电传出将关闭四台极紫外光(EUV)曝光机,市场担忧是否为后续需求不振及客户扩大砍单?然而据设备业者指出,台积电将旧的四台EUV曝光机关机的目的,是为了将设备升级到3600D规格,升级后的单机生产量能(through put)可提升18%左右。
上周已有外电报导指出,传闻台积电可能从年底开始关闭部份的EUV设备,一方面是因为市场需求可能出现松动,另一方面则是EUV设备非常耗电。
设备业者指出,像曝光机这类高精密度的半导体机台,就算市场景气不好、客户大幅砍订单,晶圆厂也很少会做出关机的动作。这是因为关机就跟停电一样,所有製程参数都要在重开机后重新再作调整,且无法预期可维持最佳良率。以目前台湾电费算相对便宜的状况下,厂商作出贸然关机的动作,可能性不高。
至于台积电这次将部份EUV曝光机关机,主要是为了进行设备升级,与近期市况无直接关係。
据相关设备业者的说法,台积电3400B及3400C旧机型EUV曝光机,将关机进行升级,调整后将可升级到3600D规格,这样一来单机生产量能可提升约18%,而且设备升级是依原订计画进行,并不是市况不佳而导致关机停产,更不是为了节省电费的目的。
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