【排名】中国企业500强出炉 华为以1426.66亿元获研发投入第一;东微半导体基于碳化硅实现高耐压半导体器件制造方案

1.【专利解密】东微半导体基于碳化硅实现高耐压半导体器件制造方案

【嘉勤点评】东微半导体发明的基于碳化硅的半导体器件制造方案，该方案中的栅极沟槽和源极沟槽在同一步刻蚀工艺中同时形成，并且源极沟槽下方的p型掺杂区可以增加源极沟槽底部附近的电场，把半导体器件内的最高电场限定在源极沟槽的底部附近，从而保护栅极沟槽内的栅极不容易被击穿，并有效提高了半导体器件的耐压。

集微网消息，碳化硅是一种无机物，是用石英砂、石油焦（或煤焦）、木屑（生产绿色碳化硅时需要加食盐）等原料通过电阻炉高温冶炼而成。在C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅是应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。

由于碳化硅具有不同于传统硅半导体材料的诸多特点，其能带间隙为硅的2.8倍，绝缘击穿场强为硅的5.3倍。因此在高压功率器件领域，碳化硅器件可以使用相对于硅材料更薄的外延层来达到传统硅器件相同的耐压水平，同时拥有更低的导通电阻。

目前，利用碳化硅制备沟槽功率器件的主要问题在于，在器件运行时会有很大的电场施加在栅极沟槽内的栅介质层上，这使得栅极容易被击穿，影响了器件的耐压。

因此，为了提高半导体器件的耐压性能，东微半导体在2020年11月16日申请了一项名为“半导体器件的制造方法”的技术方案（申请号：202011280137.9），申请人为苏州东微半导体股份有限公司。

根据该专利目前公开的相关资料，让我们一起来看看这项技术方案吧。

如上图，为制作该半导体器件的衬底结构，该半导体衬底包括依次层叠设置的第一n型半导体层20、第二n型半导体层21、p型半导体层22和第三n型半导体层23。其中，第一n型半导体层作为半导体器件的n型漏区，由碳化硅层所构成。

对于该衬底，会在其上进行光刻和刻蚀，从而在半导体衬底内同时形成交替间隔设置的栅极沟槽和源极沟槽。栅极沟槽的底部和源极沟槽的底部均位于第二n型半导体层内，源极沟槽的宽度大于栅极沟槽的宽度。

而对于功能区域的划分，栅极沟槽和源极沟槽之间的p型半导体层作为半导体器件的p型体区，栅极沟槽和源极沟槽之间的第三n型半导体层作为半导体器件的n型源区。

如上图，为覆盖有绝缘层以及进行各向异性刻蚀的半导体结构示意图，第一绝缘层24为覆盖栅极沟槽的内壁并覆盖源极沟槽的内壁，其通过对氧化硅进行淀积工艺形成。然后形成第一导电层并回刻，刻蚀后剩余的第一导电层在栅极沟槽内形成第一栅极25。

这是由于源极沟槽的宽度大于栅极沟槽的宽度，在形成第一导电层时，可以使第一导电层填满栅极沟槽但不填满源极沟槽。因此在刻蚀第一导电层时，通过各向异性的刻蚀方法可以直接刻蚀掉源极沟槽内的第一导电层，而在栅极沟槽内剩余一部分第一导电层以形成第一栅极。

接着，对第一绝缘层进行各向异性刻蚀，将源极沟槽下方的第二n型半导体层暴露出来。然后进行p型离子注入，在第二n型半导体层内形成位于源极沟槽下方的p型掺杂区26。或者使刻蚀后剩余的第一绝缘层的上表面与p型半导体层的上表面位置相同。

如上图，为进一步进行栅极沟槽、源极沟槽以及源极形成的半导体结构示意图。在上述形成p型掺杂区后，淀积一层光刻胶42，通过光刻工艺将栅极沟槽暴露出来。然后对栅极沟槽内的第一绝缘层进行刻蚀，使得栅极沟槽内剩余的第一绝缘层的上表面不高于p型半导体层的下表面。

接着，去除掉光刻胶后形成第二绝缘层27，然后淀积一层光刻胶43。通过光刻工艺将源极沟槽暴露出来，然后对源极沟槽内的第二绝缘层进行刻蚀，从而去除掉源极沟槽内的第二绝缘层。之后，继续对源极沟槽内的第一绝缘层进行各向异性刻蚀，使得p型半导体层在源极沟槽的侧壁位置处暴露出来。

最后，在上述结构上形成第二导电层28，并对第二导电层进行刻蚀，刻蚀后剩余的第二导电层在栅极沟槽内形成第二栅极并在源极沟槽内形成源极。

以上就是东微半导体发明的基于碳化硅的半导体器件制造方案，该方案中的栅极沟槽和源极沟槽在同一步刻蚀工艺中同时形成，并且源极沟槽下方的p型掺杂区可以增加源极沟槽底部附近的电场，把半导体器件内的最高电场限定在源极沟槽的底部附近，从而保护栅极沟槽内的栅极不容易被击穿，并有效提高了半导体器件的耐压。

2.中国企业500强出炉 华为以1426.66亿元获研发投入第一

集微网消息，9月6日，中国企业联合会发布2022中国企业500强榜单显示。在研发投入方面，华为以1426.66亿元为中国企业500强第一。

华为的重金研发投入也在手机上得以体现，目前华为虽然硬件上稍有落后，但是却通过强大的研发实力，在很多方面实现了对其他厂商的超越、碾压，比如影像、系统、生态等功能。

与此同时，在发明专利数量榜单中，华为以99,000件为中国企业500强中第一。

（校对/赵月）

3.龙腾光电：截至2022年6月30日累计获得2832件授权专利

集微网消息，龙腾光电在互动平台上表示，公司十分重视技术创新及技术成果的知识产权保护，并持续加强专利布局，截至2022年6月30日，公司累计获得授权专利数量2832件。

据悉，龙腾光电2022年上半年实现营业收入24.65亿元，同比下降17.37%；归母净利润2.41亿元，同比下降51.86%；扣非净利润2.38亿元，同比下降51.94%。

上半年，龙腾光电推出16.0英寸分区动态隐私防窥面板及12.3英寸车载四向动态防窥显示面板，更好地满足了客户高值化、差异化需求；此外，公司持续发力金属氧化物、薄型On-cell触控、Mini LED等技术的开发，巩固和保持差异化技术优势。

（校对/王云朗）

4.小米汽车公开自动驾驶系统专利，兼顾效率和安全性

集微网消息（文/余昕）天眼查显示，9月6日，小米汽车科技有限公司公开“自动驾驶系统及自动驾驶控制方法、装置、车辆、设备”专利，公开号为CN115009303A，发明人为李国玉。

天眼查专利摘要显示，该自动驾驶系统包括：智能驾驶域控制器ADD、智能座舱域控制器DCD、与ADD电性连接的摄像组件，其中，摄像组件，用于采集初始驾驶舱图像，并将初始驾驶舱图像分别提供至智能驾驶域控制器ADD和智能座舱域控制器DCD；智能驾驶域控制器ADD，从摄像组件接收初始驾驶舱图像，并输出图像处理结果；智能座舱域控制器DCD，用于输出图像识别结果，其中，图像处理结果和图像识别结果共同用于自动驾驶控制。通过本公开能够有效兼顾自动驾驶效率需求和驾驶行为安全性需求，有效提升自动驾驶控制的效率，增强驾驶安全性。

同时，小米汽车还公开了另外5项发明专利，范围包括路径规划方法、车载摄像头清洗方法及芯片轨迹预测方法等。

据悉，目前小米正在突破自动驾驶相关技术，其主要采用了全栈自研算法，首期投入33亿元研发费用，已组建超500人规模的研发团队，同时通过全资并购以及对上下游企业的产业投资等方式，推进在自动驾驶领域的中长期产业布局。

（校对/黄仁贵）

5.Meta因处理儿童数据被罚款4亿美元

集微网消息 近日，据财联社报道，Meta因在Instagram上处理儿童数据而违反了欧盟的数据隐私法，被罚款约4亿美元。

据了解，这是欧洲和美国当局打击公司在网上收集和分享有关年轻人的信息的一系列措施的最新举措。爱尔兰数据保护委员会表示，它于9月2日决定，根据《通用数据保护条例》开出的此项罚单，将是迄今为止金额最大的罚单之一。

据了解，早在2020年，爱尔兰数据保护委员会就已经开始调查Instagram，原因是该公司默认将13岁至17岁儿童的账户设置为公开状态，并允许在Instagram上拥有商业账户的青少年公开自己的电子邮件地址和电话号码。

Meta在其2022年第一季度报告中表示，依据《通用数据保护条例》（GDPR），欧盟委员会正对该公司展开相关调查。当调查结束后，Meta很可能遭受巨额罚款。Meta说：“我们认为，有一种合理的可能性是，与这些事项相关的额外损失，其数额将非常大。”

爱尔兰数据保护委员会是Meta在欧盟的主要监管机构，因为Meta的欧洲总部设在爱尔兰。截至2020年底，爱尔兰数据保护委员会已对Meta及其WhatsApp和Instagram子公司展开了14项重大调查。

自互联网新时代大门打开之时，一个亟待解决的问题便如影随形，那便是数据隐私问题。长期以来，在传统互联网中，隐私保护都是一个十分困难的问题。随着社会数字化程度的不断加深，数据的重要性越高，带来的利益也就越高，人们对于数据隐私的保护呼声越来越高。

面对越来越严峻的数据安全和隐私保护挑战，尽快完善相关数据标准和有关规范，推进相关立法工作，是进一步加强个人信息保护法治保障的客观要求，也是维护网络空间良好生态的现实需要。

（校对/李晓延）

6.CEVA：“人体接近检测”和“您”

尽管手机和平板电脑的功能越来越强大，但如果您真的需要（远程）工作（如远程工作）的话，工作专用笔记本电脑仍然是您的首要选择。在这种随时随地工作的新模式中，确保隐私和提高工作效率变得越来越重要。为了帮助解决这两个问题，人体接近检测技术最近进入了公众视野。我想要将我们对接近的讨论重点放在移动计算更具体的用例：这种技术可用于何处以及其他更为大众熟知的技术。

瞬时灵感记录和安全性

设想一下，您在咖啡店一隅发现了一个不错的角落，那里，咖啡豆的香气恰到好处，比其他地方还要舒适。当您在进入这一理想中的位置时，内心便会涌出积极的情感，激发出奇妙创意。但当坐下来想要将其键入电脑时，您会发现大脑可能会因登录屏幕而分心，奇妙创意也会随之消失。这种遗憾的情形可以通过人体接近检测避免；该技术可识别您，使您立即登录到自己的电脑，打开文本编辑器并记下自己的想法。这正是人体接近检测可以做到的。

现在，我知道我在这里举的例子有点好笑，但这个观点站得住脚。打开笔记本电脑便登录，有助于更快地获得所需内容。这就像热键一样，起初您会认为一个热键没什么大不了，但日久天长，您便会发现这些热键可以助您更加高效地工作。我们刚刚讲的打开笔记本电脑便登录就像是设置一个登录热键一样。

可以说，确保安全要比提高工作效率更加重要一些，因为如果您的财产或数据遭到破坏，您将如何工作？继续以咖啡屋为例。当您听到店员呼叫您的名字，离开笔记本电脑去取咖啡时，人体接近检测技术便会确定您不在笔记本电脑附近，进而锁定 PC，确保您的数据安全并在您返回时解锁，就像什么都没有发生过一样。

假设您正在研读一本小说（或者我不知道具体怎么讲，也有可能是关于人体接近检测的博客文章）时，有人走到您的笔记本电脑后面，越过您的肩膀查阅该小说（博客文章）。人体接近检测传感器可以检测到周围有人的情形，并提醒于您，或者甚至还可以模糊屏幕，避免有人偷窥窃取您的想法。

这些传感器还可用于追踪您的视线所及之处，密切关注您眼睛的健康状况，在您看电脑时间过长时，通知于您。或者也可以用于手势控制，让您在远处做一些基本的滑动动作便可以控制您的笔记本电脑。以上只是利用一些创造性思维和软件便可实现的功能。

感应接近

下方列出并说明了三种主要人体接近检测技术。这些传感器存在一个共同之处：通过某种东西触碰各自的接收器来获取信息。

飞行时间 (ToF) 传感器：

这些传感器发出信号，待其从触碰表面反射回来，并测量其返回传感器所需的时间。这一步可以使用不同类型的信号（包括激光 (LIDAR)、红外线 (IR) 和超声波）完成。飞行时间传感器使用感应像素数组来确定与对象的相对距离，进而创建范围图。飞行时间传感器因为成本低且尺寸较小，应用最为普遍。

低功耗摄像头：

低功耗摄像头不会发出自己的信号，而是在确定颜色和亮度的传感器网格上捕获来自光源的光子。光子的来源是空间中已经存在的任何光源，而无论是 LED、荧光还是自然阳光。有了摄像头，您将可以获得人类更容易感知到的信息，但具体则取决于照明条件。

超宽带 (UWB) 或毫米波：

超宽带的工作原理与雷达类似，雷达的工作原理是发送雷达脉冲并测量脉冲反射时间。两者的主要区别在于 UWB 信号能量非常低，专为短距离范围设计。UWB 与摄像头不同，可以在任何光线条件下工作。UWB 传感器也具有高灵敏度，甚至能检测心率。但如果要加上这些功能的话，该传感器的价格的确高于其他传感器。

每种有名的技术都有明显的优点和缺点，要想确定哪种技术最适合应用于您的人体接近检测，还需要在对各传感器进行深入了解。无论您选择哪种技术，CEVA 在传感器方面的强大背景（特别是拥有专用传感器中枢处理器）可以简化您对工作效率和安全的要求，让您专注记录创意洞见，品尝美味咖啡，享受最佳用户体验。联系我们，了解我们有关 HPD 功能的更多信息。