8月23日,企查查资料显示,阜阳欣奕华材料科技有限公司(简称“阜阳欣奕华”)发生工商变更,新增多名股东,其中包括华为旗下产业投资公司——深圳哈勃科技投资合伙企业(有限合伙),持股份额为3.8057%。
这并非华为哈勃第一次进军光刻胶。去年8月,华为哈勃3亿元增资了一家光刻胶企业徐州博康,为其历史上最大单笔半导体产业链投资。
资料显示,阜阳欣奕华成立于 2013 年 5 月,隶属于欣奕华科技集团,主营业务包括显示光刻胶、半导体光刻胶、OLED 材料、半导体湿电子材料和前沿材料。
其光刻胶业务的主营产品包括BM、RGB、OC、PS、低温光刻胶等,已拥有光刻胶相关专利103项;拥有高阻抗、高分辨率、高色域、低温固化、量子点等全方位技术对应能力;目前,负性光刻胶年出货量超两千吨;除负性光刻胶之外,阜阳欣奕华的低温彩色光刻胶开发项目,可实现85℃的低温固化,并已通过AR/VR产品客户端验证。
阜阳欣奕华表示,预计到2025年,公司LCD光刻胶出货量可达到7000吨/年,2021~2025年复合增长率预计将达45%。
值得一提的是,在半导体光刻胶方面,欣奕华也有了新动态。阜阳欣奕华CEO黄常刚表示,阜阳欣奕华正着力将半导体用光刻胶产品化。目前,I线和KrF、ArF光刻胶的开发已进入评测阶段,预计在2024年初可以实现少量出货,后续将考虑导入KrF、ArF研发及生产时使用的曝光装置。
国内高端IC光刻胶处于验证阶段整体来看,国内半导体光刻胶中的ArF/KrF等产品仍处于技术积累和验证阶段,尚未实现规模化量产导入。
光刻胶为光刻工艺的关键耗材,决定芯片制造的关键尺寸。根据光源波长分类,光刻胶可分为紫外宽谱、g线、i线、KrF、ArF、EUV 6大品类,波长越短通常可制造的最小尺寸越小,技术难度越高。
KrF曝光波长为248nm,适用于8吋晶圆的制造;ArF曝光波长在193nm,适用于8吋、12吋晶圆的制造;EVE光刻胶对应13.5nm曝光波长,适用于12吋晶圆的制造。
当前,半导体制程不断升级,7nm芯片已经成为市场主流产品。除EUV光刻胶外,ArF光刻胶也可用于7nm制程中,但无法用于7nm以下制程中。这意味着,要进入7nm以下制程,我国在EUV光刻胶也得发力。
据报道,中金公司表示,光刻胶的壁垒主要在于:1)配方和经验的长期积累;2)原材料的稳定供给;3)客户黏性和认证周期长;4)前期资金和人才投入大。
据了解,目前,国内厂家在ArF/KrF等品类方面处于技术积累与验证极端。晶瑞股份KrF(248nm深紫外)光刻胶完成中试,产品分辨率达到0.25~0.13μm的技术要求;南大光电自主研发的ArF光刻胶产品在逻辑芯片制造企业55nm技术节点产品取得认证;上海新阳在互动平台上表示,公司已经具备了Arf光刻胶的生产能力,并且取得了客户的订单。