SK Siltron贝城SiC晶圆厂将完工 6英寸年产能上看12万片

SK Siltron规划在2022年9月中旬完成美国贝城新SiC晶圆厂。法新社

第三代半导体碳化矽(SiC)领域发展备受业界关注，而SK Siltron新SiC厂即将完工一事也成业界焦点。外界推测，SK Siltron新厂完工后，6吋SiC晶圆年产能将提高至12万片。此外，为抢占SiC半导体市场，SK Siltron亦定调今后将持续扩充产能。

韩媒Theelec引述业界消息指出，SK Siltron规划在2022年9月中旬，完成美国贝城(Bay City)新SiC晶圆厂，并以此大幅扩大SiC晶圆产能。据悉，贝城厂主要负责长晶制程，而长晶制程是SiC晶圆制造中的第一步，指的是生长SiC单晶，需要在高温、密闭空间进行，并对高温对设备和制程控制有极高要求。

据悉，SK Siltron目标在2022年11月商用化6吋SiC晶圆，目前正与主要客户进行样品测试。外界推估，若将SK Siltron南韩龟尾工厂、美国工厂产能合并计算，2022年下半SK Siltron 6吋SiC晶圆的年产能有望达12万片。同时，SK Siltron正在推动6吋SiC的第二阶段增设投资，待第二阶段增设完成，SK Siltron 6吋SiC年产能可望于2025年提升至50万片。

事实上，SK Siltron是SK集团(SK Group)矽晶圆制造关系企业，在2019年购并杜邦(DuPont)SiC晶圆事业部，接收美国奥本厂(Auburn)，并成立子公司SK Siltron CSS，接着在2022年启动奥本附近的贝城SiC晶圆厂。

外界普遍认为，SK Siltron看中SiC的市场潜力，因而积极投资SiC晶圆产能。鉴于SiC功率半导体拥有较佳的高耐压、高耐热特性，优于矽(Si)功率半导体表现，电动车、新再生能源、储能系统(ESS)等领域对SiC功率半导体需求正逐渐提高。另据市调机构Yole Developpement预期，SiC功率半导体市场将从2021年10.9亿美元，一路成长至2027年的62.97亿美元。

另一方面，SK Siltron正筹备生产8吋以上的SiC晶圆，且欲与功率半导体客户展开技术合作，目标在2023年底量产8吋以上的SiC晶圆。