【中标】北方华创中标江城中试和福联集成设备采购项目，涉及2台刻蚀机

集微网消息，招标平台信息显示，8月23日，湖北江城芯片中试服务有限公司（以下简称“江城中试”）电子设备采购项目和福建省福联集成电路有限公司（以下简称“福联集成”）2022年第二批次电感耦合等离子蚀刻机设备采购项目中标结果公示，中标人均为北京北方华创微电子装备有限公司（以下简称“北方华创”）。

江城中试项目涉及标的物1台高密度等离子体刻蚀机；福联集成项目涉及标的物1台电感耦合等离子蚀刻机，主要用于6寸晶圆GaAs蚀刻工艺。

北方华创官方消息显示，在刻蚀领域，2005年8月，北方华创第一台ICP刻蚀机进入大生产线；2017年11月，北方华创推出第一台金属刻蚀机；2022年8月12日，北方华创发布CCP介质刻蚀机，已在5家客户完成验证并实现量产。至此，北方华创实现刻蚀工艺全覆盖。（校对/赵碧莹）