【招标】上海新微半导体化学气相沉积设备（钨）和射频可靠性设备公开招标

集微网消息，近日，上海新微半导体有限公司（以下简称“新微半导体”）发布化学气相沉积设备（钨）和射频可靠性设备两项招标公告。

其中，化学气相沉积设备（钨）项目所采设备包含1台化学气相沉积设备（钨），用于6英寸GaN晶圆制造过程中W金属填孔沉积工作。

射频可靠性设备项目所采设备包括1套砷化镓射频器件高温工作寿命老化测试系统、1套（大功率） 高功率氮化镓射频器件高温工作寿命老化测试系统、1套氮化镓射频器件高温反偏测试系统、1套氮化镓射频器件高温栅偏测试系统、1套稳态温湿度偏压测试系统、1套高加速温湿度及偏压测试系统。

据悉，新微半导体成立于2020年，专注于为光电、射频和功率三大化合物半导体应用领域提供芯片制造平台，产品服务于工业、消费电子、通信、生物医疗、汽车、新能源、微波、人工智能与大数据等众多应用领域。（校对/赵碧莹）