成果斐然，中科院上海微系统所12英寸大硅片攻关团队获表彰

来源:今日半导体发布时间:2022-07-011256浏览

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中国科学院近日组织开展“科技创新先锋团队”评选，表彰30支在科技攻关任务中创新成效显著的科研团队，其中包括上海微系统与信息技术研究所12英寸大硅片攻关团队。

事迹介绍材料透露，为解决12英寸硅片长期依赖进口的难题，上海微系统所于2014年组建大硅片攻关团队，2016年10月拉制出第一根大产率单晶棒，2021年又突破无缺陷硅单晶生长技术，可满足先进存储器制造需求。

材料显示，目前该团队已掌握集成电路领域面向14纳米先进节点硅片技术，并实现存储器用无缺陷硅片技术突破，截至2022年5月，累计出货量超500万片，满足国内5家主要集成电路制造企业23%的正片需求。

此外，计算技术研究所智能超算攻关小组也在表彰之列，介绍材料显示，该团队突破了国产高性能服务器处理器芯片性能技术瓶颈，攻克智能超算系统中互联芯片核心技术，为研制E级系统奠定了基础。

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上海微系统与信息技术研究所

12英寸大硅片攻关团队

硅片是集成电路产业最大宗的核心基础材料，我国12英寸硅片长期百分百依赖进口，严重制约产业安全自主发展。
为从根本上解决这一问题，中科院上海微系统所于2014年组建了12英寸大硅片攻关团队。
2016年10月31日，攻关团队拉制出第一根大产率单晶棒。
2017年2月，晶棒长度提升至2米，达到国际先进水平。
2021年，无缺陷硅单晶生长技术取得重大突破，满足先进存储器制造需求。
经过8年的艰苦攻关，团队克服重重困难，不但实现我国12英寸硅片制造的技术突破，更是攻克了集成电路领域14纳米先进节点硅片难题，并实现存储器用无缺陷硅片技术的重大突破。
截至2022年5月，累计出货量超500万片，满足国内5家主要集成电路制造企业23%的正片需求，解决了我国集成电路产业战略急需问题。

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