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来源:芯榜发布时间:2022-06-2173浏览
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另有南开大学信息显示,该校讲席教授罗锋也已承担相应课题,开展极紫外光刻技术光刻胶合成制造与刻蚀评估,公司合作方包括了中芯旗下北方集成电路创新中心和北京超弦存储器研究院。中国科学院上海高等研究院(下称“高研院”) 坐落于上海市浦东新区张江科学城核心区,是一所年轻的多学科交叉的综合性科教机构。高研院主要以先进光源大科学装置的研制、建设和运行为核心,开展加速器科学、光子科学、能源科学与信息科学领域的原始创新研究和关键核心技术研发,支撑前沿科学研究,提供核心技术和集成技术解决方案,负责上海同步辐射光源、国家蛋白质设施(上海)等国家大科学基础设施的运行开放。-END-
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