晶圆代工掀扩产潮 滤能喜迎龙头AMC释单

随着芯片设计复杂度提升，制程道数也跟着提升，在生产过程中，对于环境的洁净要求也更为严格，制程环境污染的防治重点也由粉尘微粒转移至悬浮气态污染物(AMC)，对于制程良率的影响持续扩大。

专攻无尘室AMC解决方案、入列台积电、旺宏、美光与南亚科等国际大厂供应链的滤能，受惠大客户近年先进制程持续推进且大扩产能，并在其10纳米以下市占率已近5成，带动滤网需求增下，乐观看待2022与2023全年营运表现。滤能创始人暨董事长黄铭文曾为台积电AMC微污染防治计划主持人，于2014年创立滤能。

由于先进制程对于AMC微污染十分敏感，AMC污染防治工具已成为先进制程的标准配备，也让提供化学滤网的滤能近年成功攻入台积电、美光(Micron)等国际半导体大厂供应链，其主要应用区域为无尘室风扇过滤单元(FFU)，尤以12寸先进制程厂区为大宗。

滤能客户多集中在先进制程领域，前五大客户占营收超过90%。目前AMC防治产品在主力客户先进制程端已获得大量采用，在其10纳米以下先进制程市占率已近半数。

除先进制程需求因扩产而增加外，为维持良率，客户亦会需要持续更换及安装服务，长期来看，既有厂区仍会有稳定的化学滤网更换需求。整体而言，在产品占营收比重方面，AMC滤网及零组件收入约88%，其他为12%。其中，10%营收安装，6成为既有耗材更换，3成则为新厂所需。

滤能目前总产能为5万片，为因应客户建厂及维护需求并减少对滤网代工厂的依赖，滤能2021年第3季动工兴建南科厂房，预期2023年首季投产，初期规划月产能5万片滤网，未来则可达10万片，除提升滤布自制比重外，也将做为再生滤网发展基地，协助客户推动绿色制造。

滤能指出，南科厂扩产效益可望提升自制比重，过往滤能滤材是透过国内外代工厂采购，再于滤能厂中与框体组装后出货，而在南科厂量产后，滤材自制比例将陆续提升到50%以上。此外，也可提升获利能力，滤网生产成本中75%为耗材成本，藉由物理脱附将废弃滤网再生后并重新出售，产品获利能力将高于既有水平，目前规划再生新品将全数于杨梅和南科厂自制，再生滤网技术已完成开发，现已交由客户测试认证中。

滤能表示，AMC防治产业门槛高，因为一旦失败所造成的损失代价巨大，因此，客户对于有关全厂防护的供应商要求更加严格，相关供应商势必要对先进制程有相当程度的了解，才能依照客户问题对症下药，非一般耗材厂商能够任意切入。

滤能目前主要竞争对手为Camfil、英特格(Entegris)等国际大厂，尽管规模均远大于滤能，但滤能不论在产品生命周期、稳定性、 产品价格、客户端现场驻点服务团队、定制化防护专案与次时代产品研发上，均领先竞争对手。

滤能2021全年营收达新台币8.28亿元，年增28%，主要成长动能来自客户先进制程产能扩充带动滤网需求所致，尽管毛利率、营益率较2020年下滑，然获利仍写下新高。2022年首季合并营收2.48亿元，季减7.57%、年增61.72%，毛利率与营益率皆不及2021年第4季，但优于2021年同期，税后净利季减幅度显着，但仍比2021年同期大增91.56%。

滤能乐观预期，半导体产业现况依旧热络，2022年业绩可望持续成长，上下半年营收比重约4比6。据了解，滤能近年毛利率明显下滑，系因主要客户建厂需求大，产品组合影响所致。

市场预期，滤能除受惠台湾半导体大厂全面进入扩产期，带动AMC化学滤网产品出货，如台积电将在2022年下半量产3纳米制程，由于芯片生产成本增加，对良率管控需更为严谨，将提升滤网更换速度，有助于滤能营运规模持续垫高，后续更可随着出货产品种类转以抽换式/再生型单片滤材，另再加上2023年新产能开出，产品自制率提升，毛利率将可望逐步回稳。

值得注意的是，台积电于2021年4月向供应商提出将会把供应链碳足迹与减碳绩效纳入其重要采购指标，要求供应商在2030年前必须节能20%，若无法达成要求，恐将失去台积电订单，此举长期来看，对于相关供应链影响甚大。

据了解，2019年台积电已全面改用拆解式的化学滤网，借此降低70%的滤网废弃物，而在2021年3月更验证通过滤网结构的优化，并自2022年起陆续导入台湾所有晶圆厂区，进一步降低20%的滤网废弃物。

对此，滤能信心预期，滤能将与客户共同规划废弃物解决方案，第一阶段将导入外气空调箱(MAU)，确保厂区洁净度后进行再生评估，第二阶段则导入至无尘室风机滤网机组及最终机台端使用的再生滤网，若两阶段均顺利导入，可望推升滤能全年营收增加逾3成。

责任编辑：朱原弘