页面加载中,请稍候
来源:消费电子发布时间:2022-05-302625浏览
询问 AI光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
生产集成电路的简要步骤:
利用模版去除晶圆表面的保护膜。
将晶圆浸泡在腐化剂中,失去保护膜的部分被腐蚀掉后形成电路。
用纯水洗净残留在晶圆表面的杂质。
其中曝光机就是利用紫外线通过模版去除晶圆表面的保护膜的设备。一片晶圆可以制作数十个集成电路,根据模版曝光机分为两种:
模版和晶圆大小一样,模版不动。
模版和集成电路大小一样,模版随曝光机聚焦部分移动。
其中模版随曝光机移动的方式,模版相对曝光机中心位置不变,始终利用聚焦镜头中心部分能得到更高的精度。成为的主流 [1] 。
20日报道,荷兰阿斯麦公司(ASML)正在制造新款极紫外线(EUV)光刻机,每台售价约4亿美元。
路透社援引阿斯麦公司高级管理人员的话报道,新一代高数值孔径EUV光刻机的原型机将在2023年上半年制造完成。
这些高管说,顶级芯片供应商准备最早2025年开始使用上述产品的量产机。
报道援引美国超大规模集成技术研究所专家丹·哈奇森的话说,高数值孔径EUV光刻机可为一些芯片企业提供巨大优势,“有点像谁得到最好的枪”。
阿斯麦公司在EUV光刻机方面占据垄断地位。据哈奇森介绍,中国台湾积体电路制造股份有限公司(台积电)本世纪头十年使用阿斯麦公司的EUV光刻机,甩开竞争对手。美国英特尔公司首席执行官帕特·格尔辛格为此发誓,在高数值孔径EUV光刻机方面不会再犯同样错误。
EUV光刻机是缩小芯片制程的关键技术。鉴于同等空间内晶体管数量越多,芯片性能就越强,因此芯片制程越小越好。
阿斯麦公司首席执行官彼得·温宁克说,过去十年间,阿斯麦公司已售出大约140部EUV光刻机,每部售价约2亿美元。
Semico研究公司常务董事约安妮·伊托说,EUV光刻机如此昂贵,以至于大多数芯片企业买不起,“把其中许多企业挤出市场”。
美国塔夫茨大学弗莱彻学院助理教授克里斯·米勒告诉美国消费者新闻与商业频道,尽管阿斯麦公司是荷兰企业,但其光刻机严重依赖美国供应的零部件。
光刻机被称为人类最精密复杂的机器,可是你知道吗,这个机器的最顶尖的技术在荷兰。
有人就说了,为什么荷兰一个小国家反而能够制造出如此精密的光刻机来,美国为什么不可以?
欧洲其他国家为什么不可以?世界上的其他国家为什么不可以?为什么非得是荷兰?是其他国家主动让给荷兰去做的?还是说这里面有着深不可测的猫腻呢?
其实在早些年的时候,人们就已经意识到了光刻机作为未来科技领域发展的重头戏,必须要重点打理。
所以在那个时候包括但不限于欧洲,亚洲以及北美洲数不清的国家,都开始把更多的精力投放在光刻机当中。
甚至还包括很多的老牌资本主义国家,他们不惜耗费大量的资金,主要目的也是为了在光刻机领域里面能够分一杯羹。
而当时像美国,英国,德国,法国等一系列的国家,在光刻机领域里面都有所成就。
其中美国在光刻机领域的发展非常不错,一路顺风顺水,也可以说在上个世纪最早期的时候,美国在光刻机领域的发展,可以说的上市,能够达到世界最顶尖行业水平。
而在这中间荷兰的光刻机的确是不太显眼,在1984年的时候,荷兰的光刻机才算是正式成立。
最开始注资的时候,还是飞利浦和一家小公司各自出资50%形成的合资公司,而荷兰光刻机公司最开始成立时只有短短的31个人。
相比较而言,当时的日本光刻机发展都要远超过荷兰,光刻机在这里顺便说一下,在上个世纪90年代的时候,日本的半导体行业之所以能够成为全球第一。
其主要原因在于当时的美国对于日本加大力度扶持,而荷兰并没有美国如此大力度,大规模的扶持光刻机之路是怎么发展出来的呢?
在当时美国迫切地希望把光刻机以及相关的半导体行业技术统一归纳到美国本土境内,但遭遇到了很多的困难和挫折。
其主要原因既包括市场经济原因,也包括美国的本土人才方面等等,各种原因结合在一起,就导致美国虽然希望能够将光刻机技术放在本国半导体的核心技术当中。
但是此时的美国已经无能为力或者需要付出很大的代价,而这些是美国所不愿意的。
荷兰的光刻机公司敏锐地察觉到了这一个敏感关口,并且告知美国与美国签订协议之后,能够保证一半以上的零部件只从美国采购。
并且接受美国的定期审查门户大开,以此来保证光刻机的发展,获得美国支持。
光刻机作为高精尖技术,在早些年的投入非常的大,比如荷兰的光刻机,虽然其具体的投入并不知道多少。
但是根据某些消息来看,2019年荷兰光刻机公司,研发费用就达到了超乎常人的4.8亿欧元,当然这个数据准确与否不得而知。
但如果按照这个数据,再结合2019年光刻机的营销额来比算进行折算出来,这家光刻机公司的研发就占到了总收入的22%以上。
所以我们就能够得出一个结论来,光刻机目前是经过一系列市场迭代的产物,而且当下阶段其市场迭代的速度越来越快,甚至远超过一部分人的思维认知。
在迭代速度越来越快的背景前提之下,光刻机公司又需要进行大产量大面积的研发销售,简而言之如果最开始并不能够占据市场。
或者不能够占据市场一半左右规模,就很难进行有效的更新替换,在无法更新替换时就没有后续的资金来进行产品迭代和升级。
随着全球芯片产业的快速发展,芯片制造技术的重要性也越来越高。此前,老美修改相关规则,致使台积电、三星等晶圆代工企业无法实现自由出货,国内芯片设计公司的代工渠道受阻,致使越来越多的芯片设计公司开始采用内地的芯片代工服务。
中芯国际也在这样的背景之下,迎来了营收、净利润的历史新高。而想要彻底解决芯片产品的供应问题,芯片制造设备的国产化是其中不可或缺的关键环节。
长期以来,国内芯片制造企业对于进口芯片设备的依赖性极强,包括ASML光刻机在内的多家芯片设备供应商,我们都需要更进一步,实现国产化的替代。
而想要加快国产芯片设备的更新迭代,最离不开的就是下游晶圆代工企业的商业化成功。这也是评判一款芯造设备水平的重要指标,很多在研发设计过程中不曾暴露的问题,只有在芯片的量产环节才能得到解决。
此前,富士康在青岛的工厂,就采购了一台上海微电子生产的封装光刻机。这也令我们看到了国产光刻机设备,正在分奋起对进口设备进行追赶。
然而,在近日一家中企公布的设备采购清单中,国产光刻机却再度无缘。不少网友表示,这次ASML依旧是光刻机领域的最大赢家。
据了解,为了满足自身对芯片产品的代工需求,上海积塔半导体就多款芯片制造设备进行了公开招标。其中,北方华创、芯源微、拓荆科技等国产芯片设备供应商纷纷中标,但是,在仅有的三台光刻机设备供应上,却全被ASML一家公司所占据。
国产光刻机无缘这次的设备采购,又是什么原因导致的呢?
首先,国产光刻机的制程精度不够,目前,上海微电子设计的光刻机产品,公开出来的型号只能对90nm芯片进行规模化量产。虽然,外界早早传出了上海微电子设计的28nm国产光刻机,将会在近两年对外界交付,但是,目前该设备的相关参数、细节,并未得到公布,也一直没有新的消息。
新闻来源:21ic,文中所述为作者独立观点,不代表icspec立场。更多精彩资讯请下载icspec App。如对本稿件有异议,请联系微信客服specltkj。
暂无评论哦,快来评论一下吧!

2026-07-21

2026-06-08