国家中小企业发展基金积极引导中小企业走向“专精特新”之路

国家中小企业发展基金在日常管理中会积极引导子基金对接“专精特新”中小企业及国家重点发展的行业领域。母基金通过层层筛选，遴选出华映资本、中芯聚源、普华资本、毅达资本等一批优秀管理机构，共同设立了22支子基金，子基金规模超630亿元。

作者｜Vinson    校对｜若冰

集微网消息，近年来，“专精特新”成了一个热词。

2021年7月30日，中共中央政治局会议提出，要强化科技创新和产业链供应链韧性，加强基础研究，推动应用研究，开展补链强链专项行动，加快解决“卡脖子”难题，发展专精特新中小企业。

“专精特新”中小企业是产业链供应链上的重要生力军。2021年12月，工业和信息化部会同国家发展改革委、科技部、财政部等共十九部门联合发布《“十四五”促进中小企业发展规划》，明确发展目标，推动形成一百万家创新型中小企业、十万家“专精特新”中小企业、一万家专精特新“小巨人”企业。2022年的《政府工作报告》更是强调，着力培育专精特新企业，在资金、人才、孵化平台搭建等方面给予大力支持。

国家中小企业发展基金（以下简称“母基金”）在日常管理中会积极引导子基金对接“专精特新”中小企业及国家重点发展的行业领域。母基金通过层层筛选，遴选出华映资本、中芯聚源、普华资本、毅达资本等一批优秀管理机构，共同设立了22支子基金，子基金规模超630亿元。

目前，母基金对于半导体领域的投资布局版图不断丰富，仅在半导体领域的布局就贯穿材料、设计、制造、设备等全产业链，涵盖EDA工具、半导体设备、半导体硅晶圆、晶圆代工等，并投资了行芯科技、中欣晶圆、至微半导体、迅芯微电子等一大批重点聚焦解决“卡脖子”难题、具备国产化替代能力的创新型企业。

EDA工具

EDA工具贯穿半导体产业链各个环节，并且是半导体行业不可或缺的重要研发和生产类工具。在EDA工具方面，母基金投资了杭州行芯科技有限公司（以下简称“行芯科技”）、无锡飞谱电子信息技术有限公司（以下简称“飞谱电子”）等。

行芯科技是具有完全自主知识产权和国际竞争力的EDA和IP高科技企业。2021年，行芯科技取得了丰硕的成果，公司基于FinFET先进工艺的全芯片参数提取解决方案GloryEX高质量交付芯片设计龙头客户；GloryEX产品成功通过三星先进工艺的高标准认证，是国内唯一通过认证的signoff精度提取工具。

飞谱电子是一家专注发展国产EDA/CAE软件的公司，公司基于电磁场核心算法开发的专业软件工具已能够为芯片设计与制造、高速封装与集成等产品的开发提供快速、先进的仿真设计与分析验证，已广泛应用于集成电路、通信系统、汽车电子等工业领域。公司自主研发Rainbow系列电磁仿真软件具有强大的几何建模功能、创新的电磁算法和优化技术。

半导体设备

半导体设备是半导体技术迭代的基石，主要包括光刻设备、刻蚀设备、抛光设备、测试设备、清洗设备等。半导体制造过程中，清洗设备是晶圆加工制造中的重要一环，在单晶硅片制造、光刻、刻蚀、沉积等关键制程工艺中均为必要环节。

作为母基金投资的专注于半导体湿法清洗设备的至微半导体（上海）有限公司（以下简称“至微科技”）于2017年10月26日成立，是至纯科技的控股子公司。至纯科技2021年年度报告显示，2021年公司湿法设备已经在数个成熟工艺的产线上拿到了整条线的设备订单；公司还在氮化镓和碳化硅产线上拿到了整条线的湿法设备订单；公司在先进制程的28纳米节点获得全部工艺的设备订单；在14纳米以下制程也拿到了4台湿法设备订单。2021年公司的单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过了97台。同时12英寸湿法设备新增订单金额超过6亿元，其中单片式湿法设备新增订单金额超过3.8亿元。

此外，母基金还投资了专注于高端化学机械平坦化抛光（CMP）设备的杭州众硅电子科技有限公司、等离子体应用整体解决方案提供商上海稷以科技有限公司、专注于半导体精密磨划领域的江苏京创先进电子科技有限公司等。

半导体硅晶圆

半导体硅晶圆作为集成电路产业的基底材料，对产业发展至关重要。在半导体硅晶圆方面，母基金投资了从事集成电路用半导体晶圆片研发与生产制造的杭州中欣晶圆半导体股份有限公司（以下简称“中欣晶圆”）。中欣晶圆官网显示，中欣晶圆杭州、上海、银川三地工厂实现了从半导体单晶硅棒拉制到100mm~300mm半导体晶圆片加工的完整生产。

此外，浙江丽水中欣晶圆外延项目总投资40亿元，首期将建设年产120万片8英寸、年产240万片12英寸外延片。2021年11月17日，浙江丽水中欣晶圆外延项目举行开工仪式后，迅速进入基础施工；2022年5月8日，浙江丽水中欣晶圆外延项目顺利封顶。

晶圆代工

晶圆代工是典型的寡头垄断型行业，代工技术迭代快，马太效应明显。在晶圆代工方面，母基金投资了专注于半导体晶圆生产代工服务的合肥晶合集成电路股份有限公司（以下简称“晶合集成”）。晶合集成成立于2015年5月，是安徽省首家12英寸晶圆代工企业，可以为客户提供150-55纳米不同制程工艺。截至2021年底，晶合集成产能已达10万片/月，实现在液晶面板驱动芯片代工领域市占率全球第一的目标，成为国内第三大晶圆代工厂。

除此之外，母基金还投资了矽典微、佰维存储、百识电子、京微齐力等一批重点企业，在汽车电子、存储芯片、数模混合、第三代半导体等方面形成了较为完成的产业布局。

随着母基金的入场，以往不被投资机构广泛看好的中小企业正在迎来难得的资本市场机遇期。未来，母基金将持续加大投入，积极引导中小企业走向“专精特新”之路。