工研院深耕量测技术35年 助攻台湾产业转型升级

工研院量测技术发展中心迈入35年！工研院日前举办「量测35周年庆」，分享创新量测技术研发、建立量测标准与检验证服务等重要成果。度量衡是民生、社会、科技以及国际贸易发展的重要基础，工研院执行国家度量衡标准实验室，持续从「国际计量标准」、「推动产业化」与「协助能源测试验证」三方面为产业提供创新量测服务，不仅建立下世代半导体建立前瞻量测技术，同时，也协助台湾太阳能产业标准检验证与新产品开发。未来将以精准量测扶植新创公司，下半年规划成立以半导体尖端量测技术的新创公司，让半导体产业得以符合国际标准。

工研院日前举办「量测35周年庆」，图中第一排从左起：量测技术发展中心副执行长陈炤彰、量测中心执行长林增耀、工研院副院长彭裕民、量测中心副执行长蓝玉屏、量测中心业务长吴登竣。

工研院副院长彭裕民指出， 1987年工研院受经济部委托执行国内最高量测标准的「国家度量衡标准实验室」，工研院并推进设立「量测技术发展中心」，除了为国内度量衡标准把关之外，35年来致力于新技术研发之量测标准检验证，成为台湾产业成长、国际交流最坚实的后盾。工研院透过深厚的量测实力因应产业的快速发展，率先开发前瞻性技术检测，建立工业量产良率监控的关键工具，协助国内半导体大厂转型升级。近年全球面临极端气候挑战，工研院以科学为基础，研发绿色计量标准创新技术更是绝无旁贷，期许在净零碳排的全球趋势下，提供台湾产业全面的检验证与标准制订，协助产业实现低碳绿色转型。

工研院量测中心执行长林增耀表示，过去35年感谢历届量测中心的主管带领下，致力于建立与维持国家计量标准、发展量测技术产业应用、开发精密检测仪器与设备、执行医疗器材验证、以及能源与环境相关量测的研究与发展。在「国际计量标准」中，随着国际基本单位的重新定义，工研院于2018年投入矽晶球法之相关技术建置，以精准实现由普朗克常数所定义之公斤，确保国家最高量测标准及自主追溯；在「推动产业化」部分，致力半导体前段制程突破与异质整合的市场需求，例如：「GAA制程X光量测技术」满足半导体前段制程奈米尺寸三维的复杂需求，率先布局下世代半导体关键技术，此技术更于下半年预计成立的半导体尖端量测公司；在「能源测试验证」中，太阳光电计量实验室取得国际IECEE CBTL实验室认证资格，协助台湾厂商进行品质改善与新产品开发，并于2021年打造全台唯一行动式太阳光电测试车，协助台湾进军全球再生能源市场。

回顾35年来，国家度量衡标准实验室以工研院光复院区的16馆建筑物为基地，持续肩负建立放诸四海皆准的国家技量标准之使命。工研院量测技术研发的另一个重要据点，则是工研院光复院区12馆建筑物，原为日治时期1936年所设立的总督府天然瓦斯研究所，是台湾最早成立的工业研究机构，在台湾科学研究史上别具意义，未来也将持续为台湾精准量测贡献心力。