中国院士吴汉明曾在去年的科技大会上表示,EUV光刻机是全人类智慧的结晶,仅凭一国之力,很难造出来。确实,作为制造高端芯片最核心的设备,EUV光刻机所需的元器件高达10万件,来自世界上35个国家的5000多家企业。
ASML公司EUV光刻机总工程师曾当着中国科研人员的面表示:中国即便是拿到EUV光刻机图纸,也造不出来!随着中美科技竞争的不断升温,华为等中企不断遭到技术封锁,独自研制出EUV光刻机势在必行。
2020年9月,中科院院长白春礼正式对外宣布,中科院已集中优势科研力量,成立了EUV光刻机等科研小组,势要打破技术垄断,为中企的发展保驾护航!
近两年来,在中国科学家的努力下,光刻机技术壁垒不断被攻克,用不了多久,就能完成EUV光刻机的研发工作,对此,ASML公司CEO彼得·温宁克在去年向美发出警告:如果不将光刻机卖给中国,五年之内,中国就会掌握所有的EUV光刻技术,十五年之后,ASML公司很有可能失去中国市场,甚至有可能失去行业话语权!
然而,让所有人没想到的是,美国科学院院士达利文在接受媒体采访时表示:ASML公司的好日子马上要结束了!
达利文院士之所以会发出这样的感慨,编者认为主要有以下三点:
首先,光刻机随时有可能被断“氖”
氖气是EUV光刻机制造芯片过程中必不可少的稀有气体,但世界上70%以上的氖气是由俄企加工,乌企提纯,然后供应给各大半导体企业。然而,由于老美的推波助澜,俄乌局势不断恶化,氖气供应成为了随时都有可能中断。
俄乌局势恶化后,彼得·温宁克在第一时间发出警告:要寻找新的氖气来源。
不少业内人士表示,各大半导体制造企业所储备的氖气最多可以支持半年,如果不能寻找到新的氖气来源,生产线上的光刻机就无法正常工作。简单点说,一旦断“氖”,ASML公司制造的光刻机就毫无用处。
其次,日、俄开始研发新型光刻机。
据媒体报道的信息显示,日本佳能、俄科研机构已经开始研发新型光刻机,且这种光刻机的性能要优于ASML公司制造的EUV光刻机,在相同体积的硅片上,集成的晶体管数量更多,并且不断取得了重大技术突破。
一旦中、日、俄都成功研制出属于自己的高端光刻机,ASML公司必将不会再成为白宫手中的一枚棋子,对其投入的资源必定会削减!
第三,光芯片已成为未来半导体行业的主要发展方向
近日,德国Q.ANT公司联合13家欧洲企业成立了“PhoQuant”联盟,斥巨资研发光芯片。据悉,德、荷兰官方也相继拿出了数亿欧元,扶持相关企业发展光芯片。
另外,早在几年前,华为就拿出近百亿成立了光电芯片研发中心,并且攻克了大量核心壁垒技术。
相比于传统电子芯片,光芯片利用光子进行数据传输、处理,具有运算能力更强,功耗更低等优势,是未来芯片的主要发展方向。
值得一提的是,随着芯片制程工艺的更新迭代,传统电子芯片的发展已经触摸到了摩尔定律的天花板,几年之后,传统电子芯片再难有大的突破。如果芯片制程工艺不再更新,那么,EUV光刻机就会饱和,芯片制造企业对ASML公司的依赖就会降低。
综合以上因素来看,ASML公司未来的发展前景并不是一帆风顺,但是,目前ASML公司依然是各大半导体制造企业的座上宾,其在半导体行业的地位短时间内无法被动摇。所以,“中国芯”的发展依然面临着很多挑战,我们一定不能放缓研发的步伐,要持续加大科研投入,争取用最短的时间,实现EUV光刻机的国产化。