【招标】中国科学院物理研究所公开采购晶圆键合机、深反应离子刻蚀机等设备

集微网消息，中国政府采购网显示，近日，中国科学院物理研究所2022年4月政府采购意向公布。中国科学院物理研究所现公开采购电感耦合等离子刻蚀机、深反应离子刻蚀机、感应耦合等离子刻蚀机、晶圆键合机、晶圆键合对准机等。

据悉，中国科学院物理研究所成立于1950年8月15日，其前身是成立于1928年的国立中央研究院物理研究所和成立于1929年的北平研究院物理研究所，1950年在两所合并的基础上成立了中国科学院应用物理研究所，1958年9月30日启用现名。

截至2021年底，中国科学院物理研究所共有职工920人。其中科研人员603人、技术支撑人员133人，包括中国科学院院士14人、中国工程院院士1人、发展中国家科学院院士9人。国家杰出青年科学基金获得者44人。（校对/若冰）