ASML喊未来供货有难度 中芯满手资金恐买无DUV设备

中芯国际於3月30日公布2021全年财报，时值上海疫情难解，连夜祭出全市封控、进入全域静态管理之际，中芯却也并未对出货是否时程延误，多所交代，反倒释出毛利率奔30%、2022年资本支出上看50亿美元等数据示人。

诚然，晶圆代工市场受到2020、2021年芯片短缺助攻，不仅享尽卖方市场的议价优势，甚至连中芯这家拥有先进制程企图心，却依旧停留在40／55纳米制程为主要营收贡献度的国内一线大厂，同享涨价获利的喜悦。然而，半导体设备供应链面临短缺，再加上地缘政治考量促美施压断供中芯深紫外光(DUV)曝光机台等双重因素限制下，中芯在上海、北京、深圳三地新厂的扩建计划，恐将买不到亟需的关键性设备而沦为蚊子馆。

即便美方无意断供DUV，但ASML日前示警曝光机台扩产不及，是否仍将冲击中芯取得设备时间表？如此一来，ASML是否受美施压断供DUV曝光机台给中芯，甚或因2023、2024年供货短缺，而难以按时交机，都将成为中芯新厂量产的变量。

先从地缘政治考量来看，在俄罗斯侵略乌克兰战事胶着下，美方与欧盟各界一则希望中方出面扮演调人，再则也要求北京当局切勿援俄。尽管中方至今仍企图扮演渔翁得利的角色，但在美国议会议员一而再、再而三向白宫施压断供中芯的前提下，中芯一个不小心恐将成为美中角力之下的牺牲者。

事实上，中芯从2018年美国川普总统时期，已经无缘取得极紫外光(EUV)曝光机台，迄今中芯仍缺乏关键性设备、向7纳米以下先进制程推进。期间ASMLCEOPeter Wennink也数度高分贝喊话，认为科技封杀国内无用、反陷欧盟不利，甚至迫使国内加快半导体设备国产化脚步。

不过，Wennink之言仍多从ASML业务扩产角度切入，尤其川普外交施压荷兰政府不让ASML输中的EUV系统出口国内，但却未阻止日商尼康(Nikon)新时代浸润式DUV曝光机台销往国内，据称後者仍可在若干条件下，协助推进到7纳米以下先进制程量产。

更值得中芯扩产计划陷入胶着的另一项因素在於，ASML日前表态，由於供应链无法快速支持公司扩产规划，因此预计2023、2024年微影设备恐将面临供货短缺问题，但由於ASML并未明言究竟是DUV还是EUV机台短缺，恐怕也让中芯三大新晶圆厂区完工进入装机阶段时，不确定是否将有足够DUV机台可供交货。

虽说中芯的扩产计划仍以成熟制程为重点，但在12纳米～65纳米制程，仍高度仰赖浸润式DUV系统曝光，尤其是中芯积极增28纳米制程，即便中芯得以回避美国断供DUV的威胁，但假使ASML面临DUV曝光机台供货短缺之际，以中芯的议价力能否及时取得所需设备装机，将是中芯新厂能否按时量产的决定因素之一。