万业企业：公司旗下凯世通的高能离子注入机已取得订单并完成交付

集微网消息 3月18日，万业企业在投资者互动平台表示，公司旗下凯世通的高能离子注入机已取得订单并完成交付。2021年12月，万业企业高能离子注入机已顺利通过验证并完成验收。目前，公司与核心部件供应商已建立良好的合作关系，拥有稳定的供应商体系。同时，公司积极自主加强部分核心零部件的国产化合作，以降低依赖进口的风险。

自2015年向集成电路产业转型以来，万业企业聚焦在最“卡脖子”的装备材料领域，一方面先后收购了凯世通、Compart，另一方面作为上海半导体装备材料基金投资的主要LP投资了华卓精科、上海精测、上海御渡等，已迅速成长为国内集成电路装备领域的平台型企业。

凯世通是中国领先的离子注入机研发制造企业，技术覆盖范围从突破超越7nm到28nm主流工艺制程，集成电路整机设备获多款商业订单。2021年，凯世通自主研发的首台低能大束流离子注入机和高能离子注入机，相继通过国内主流12英寸晶圆厂的验证和验收，为关键设备国产化再下一城。

针对凯世通业务在国际复杂关系及缺芯状况下的发展，凯世通总经理陈克禄博士对爱集微在内的股东表示全球对半导体设备需求高涨，零部件供应商会优先满足如应用材料等巨头的需求。但凯世通早在2020年就已研判供应链及国际形势，对美国中长交期的零部件先行下单，充分保障后续设备的生产。此外，凯世通也正积极与国内零部件企业建立合作关系。

万业企业总经理刘荣明表示，目前，凯世通主要聚焦在集成电路用离子注入机，万业企业将保障旗下凯世通零部件的采购及产能扩张。（校对/Lee）