Ingas与Cryoin停产 半导体级高纯度氖气断炊近半

俄罗斯入侵乌克兰持续，益发使得目前仍在短缺芯片的半导体产业面临不确定风险，尤其是俄罗斯在乌克兰两大地区奥德萨(Odessa)与马立波(Mariupol)的连日炮轰，导致乌克兰两大氖气供应商Cryoin与Ingas业已先後停产。

据Gizmodo、Tom’s Hardware报导，Cryoin与Ingas等2厂控制大约2022年全球高纯度氖气(high-purity)供应半导体产业的半数产能。随着这两大业者先後停产，半导体级氖气价格无可避免将随之水涨船高，而其他地区的供应商也亟需增加产出、以因应需求增长。

路透(Reuters)报导指出，在俄乌开战前，Cryoin生产高纯度与超高纯度Grade 5.0／5.5／6.0等各级别氖气，氖含量高达99.9990%～99.9999%不等，估计年产能介於12～18万立方米，其中Grade 5.0即可供应半导体制程所需，而Grade 6.0主要用於研究领域；至於Ingas生产Grade 5.0与6.0等级的氖气供应，年产能约达18～24万立方米，主要客户分布德国、台湾、韩国、国内大陆与美国等地，产能开出的75%均已供应半导体业者为主，但也有少数比重供应其他产业。

研究机构Techcet估计2021年全球半导体产业消耗大约54万公吨高纯度氖气，换算约合55万立方米。假设Cryoin与Ingas 2厂2021年出货36万立方米的高纯度氖气，而其中75%的产能供应给半导体业者，这意味着其控制2021年半导体级氖气供应的半数。

乍听之下，光是乌克兰两大业者即已控制全球半导体级氖气供应的50%，或许甚是惊人，但以其取得俄罗斯炼钢後副产品等原材料，而後透过多年来的纯化技术、供应高纯度氖气给半导体业者，此番2厂停产固然将影响供应链，但对於规模大小不等的半导体业者，恐怕冲击不一。

从2月24日俄罗斯入侵日起，包括台积电、联电、世界先进、华邦电等先後透过台湾经济部官员证实，仍具有足够的高纯度氖气安全库存，至於英特尔(Intel)、格芯(GF)、美光(Micron)等，先前也已表态在多元化供应链采购下，又有足够的高纯度氖气存量，短时间内并不至於影响正常产出，日经引述半导体业者透露，安全存量各厂从3～6个月不等，而大厂的采购议价力更高，库存水准更稳定，恐怕小型半导体业者的缺货情况，将是首当其冲。

氟化氩浸润式雷射(ArF immersion lasers)用於打造中端／先进制程芯片，需要采用深紫外光微影设备(DUV lithography tools)、导入氖气(neon)、氩气(argon)、氟气(fluorine)等混合物，其中氖气占比超过95%。不过，好消息则是，当代制程设备多有氖气回收系统，因此可以大幅降低氖气的实际消耗量。值得注意的是，估计目前全球氟化氩／DUV曝光机的数量至少上万台规模，尽管每台系统用量不多，但在全球半导体产业增产能下，全球已装机的相关设备对於氖气、氩气与氟气等合计消耗量仍是不可小觑。

责任编辑：张兴民