万业企业：出售多台12英寸集成电路设备，含离子注入机

2月7日晚间，万业企业发布出售集成电路设备的公告，公司旗下北京凯世通拟出售多台12英寸集成电路设备，包含低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机，总交易金额约为人民币6.58亿元。

作为集成电路前道四大核心设备，离子注入机设备的研制难度极大，仅次于光刻机，长期被海外设备商应用材料、Axceils垄断。据悉，目前一条月产1万片的12英寸逻辑芯片生产线大约需要20台以上离子注入机，因此国产替代空间极大，离子注入机市场前景广阔。

万业企业旗下凯世通依托团队多年的设备研发及产业化经验，取得了客户验证、批量生产、正式订单的依次突破，成为了国内首家为12英寸主流芯片制造厂批量供应半导体离子注入机的制造商，并率先应用在28nm成熟制程产线。

凯世通已经具备了正式量产的技术和良率要求。2021年，凯世通自主研发的低能大束流离子注入机和高能离子注入机就已相继顺利通过客户验证并完成验收。