台积电降EUV碳排成绿电总司令 传绿氢产业链将现踪？

半导体代工厂台积电对其供应商设立到2030年节能目标，使台湾绿电大队整军待发，其中市场也同步传出，晶圆代工高端制程中的光蚀刻制程（EUV）因为耗氢量大、产生不少二氧化碳，相关供应商拟以制造「绿氢」来减碳，可望成台湾自制绿氢首例。

针对台积电对其供应商设立2030年的节能减碳计划，除了促使其供应商积极投入绿电，还可能创造更多样的节能减碳方案，尤其是近期市场传出的制氢方案。

供应链业者表示，由于高端半导体所需的EUV制程耗用大量的氢气，制程中产生不少二氧化碳，若用生产绿氢来抵掉制程中的二氧化碳，也是减碳的路径之一。近期市场即传出，相关业者在接到台积电的节能目标后，已着手评估绿氢的可行方案。

而今，台积电成为台湾绿电总司令，登高一呼下，有可能意外为台湾绿氢自制开启新纪元，即使市场预估台积电是为了EUV进行减碳。

值得注意的是，这亦将带动台湾、甚至全球半导体厂跟进加入，以绿氢来降低EUV的碳排，毕竟全球均收到ESG课题。上述细节仍以台积电及相关业者公告属性为主。

供应链业者表示，其实再生能源对生产绿氢并不陌生，主要即是评估未来再生能源发电都有供过于求的情况，所以，如何有效应用这些多余的电力、早是业界研究的课题。

包括从中午阳光高照最易产出过多电力的太阳能、还有冬季或强风季的风力发电等，透过储能进行储存，再以电解水槽制绿氢。多年来，包括欧、国内政府均十分鼓励绿氢产业链成行。

另外，衔接绿氢产业链的应用，除了上述半导体等生产制程外，日、韩、欧、美、中等积极投入燃料电池车的发展最具代表性，对发展方向从不自我怀疑的即是全球汽车龙头厂丰田（Toyota）；而氢能车（FCV）的洁净力、也被认为更胜当下快速崛起的纯电动车（BEV）。

台湾亦由取得国发基金的太阳能厂联合再生（URE）在2019年公布投入氢能摩托车，后来因为难取得合理获利的商业模式而告吹。

供应链业者指出，欧洲培育离岸风力制氢已相当时日、其代表厂多，例如台湾熟悉的丹麦离岸风电厂沃旭能源（Orsted）计划在北海打造2GW离岸风电厂与2座共1GW的电解水制氢厂；荷兰壳牌（Shell）转型投入离岸风电/氢能混合开发案等，实际上，台湾的离岸风电场域也一直被认为潜力佳，适合发展制绿氢产业。

另外，国内太阳光发电补助已退场，但储能、制氢则有补助，因此，国内再生能源市场2022年即被认为将会着重在再生能源＋储能＋氢全产业链建造，由于国内的碳中和政策、再加上太阳能模块全球市占率达85%以上，因此，太阳能＋储能＋氢发展潜力颇受瞩目。

责任编辑：陈奭璁