昭和电工高纯气体上海第二工厂建成

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昭和电工集团子公司上海昭和电子化学材料于日前在上海建成了高纯度气体的第二工厂，该气体用于半导体和液晶板的生产环节中，公司计划于2022年初开始商业生产。

上海昭和电子化学材料公司是继日本、韩国后在中国也开始生产一氧化二氮，并把公司的八氟环丁烷产能提高至四倍，高纯度C4F8是氧化膜微细加工（蚀刻）时主要的电子特气。据昭和电工的描述，其在中国的上海及台湾地区的高纯气体新增投资总额约为30亿日元（合1.9亿元人民币）。中国不断扩大半导体生产，高纯度气体需求以每年10%以上的劲头向上攀升。新工厂预计用2-3年时间实现满负荷生产，该公司欲继续扩大包括其他气体在内的供给能力。

昭和电工集团日前发布公告提高用于半导体行业的高纯度气体的销售价格。在半导体旺盛需求的背景下，电子特种气体的需求也在继续扩大，但是另一方面，运输成本大幅度上升，加上原材料及副材料等价格的高涨，致使制造成本增加。公司一直在提高生产效率和物流的合理化等方面做出很大努力，但是为了今后能继续稳定生产和稳定供应产品，昭和电工决定对电子特种气体价格做出调整，在现行价格基础上增长20%以上，从2022年1月1日起实施。

来源：微电子制造

第四届中国半导体大硅片论坛

（12月8日·杭州）

会议名称：第四届中国半导体大硅片论坛

会议时间：2021年12月8日 

会议地点：杭州

会议主题：产业政策、市场供需、技术与经济、项目布局、创新应用 

主办单位：亚化咨询

日程安排

会议日程

重掺片和硅外延片的生产技术及市场需求

——合晶科技股份有限公司

集成电路用硅片未来发展技术趋势

——上海超硅半导体有限公司

重掺As衬底上的外延工艺/SOI技术

——上海新傲科技股份有限公司

大硅片生产如何拉出完美单晶，做到COP-FREE

——杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

电子级多晶硅国产化之困

——青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司

12吋大硅片厂集中中央式化学品，研磨液及切割液供应及研磨液回收解决方案

——深圳融科科技股份有限公司

电子级多晶硅发展历程

——江苏鑫华半导体材料科技有限公司

SOI优化衬底的解决方案及其应用

——Soitec

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