高精度激光位移传感器CDX系列 短距离型追加上市

奥泰斯工业自动化于2018年3月上旬，高精度激光位移传感器「FASTUS CDX系列」正反射型·短距离型机型追加上市。

「CDX」系列，比业界高2．7倍以上，成为目前世界上最高线性精度※非接触式超高精度测量的激光位移传感器。比起以太网通信功能，在WEB服务器上更能简便地读取传感器的测量值和参数设定。

此次追加的产品为，测量范围15±1mm、分辨率0．25μm的正反射型CDX－L（W）15A和测量范围30±5mm（设定为漫反射模式时）分辨率0．25μm的短距离型CDX－（W）30A。其中宽光斑·短距离型CDX－W30A达到目前业界最高※ 的线性精度（±0．015％ F ． S ．），实现高精度测量。

此系列产品最适合玻璃、硅晶片等透明体·镜面体的测量，在以FPD、半导体、电子部件行业为首的行业领域广泛使用。

OPTEX－FA今后也会持续扩大「FASTUS（ファスタス）」商标的产品，提升工业用传感器的新价值。

产品外观（图片为正反射型产品）

※三角测量方式的漫反射型激光位移传感器。2018年1月本社调查。另外，内容中“线性精度”也称“线性度”，是表示与实际距离的误差的位移传感器的规格。例如测量范围为30±5mm的宽光斑·短距离型CDX－W30A，较实际距离的测量误差：最大为±1．5μm。

产品阵容

应用案例

智能手机的外壳高度测量（正反射模式）

玻璃基板的平整度测量（正反射模式）