希景科技实现二维MEMS扫描微镜量产 助推激光雷达固态化

据麦姆斯咨询报道，专注于研发和生产车规级MEMS扫描微镜的苏州希景微机电科技有限公司（以下简称：希景科技）近日宣布，公司自主开发的二维MEMS扫描微镜实现成功量产。这款二维MEMS扫描微镜的镜面直径为5mm（可根据客户需求进行定制），具有体积小、驱动功耗低、扫描频率高、扭转转角大、生产成本低等特点，主要应用领域包括汽车激光雷达（LiDAR）等3D扫描应用。

图1 希景科技展示镜面直径为5mm的二维MEMS扫描微镜

在这轮自动驾驶发展热潮中，激光雷达普遍被认为是实现完全自动／无人驾驶的核心赋能技术之一。传统的三维激光雷达是在单点测距的基础上，通过二维扫描实现三维空间的深度信息测量，因此激光束扫描是激光雷达系统设计的核心环节。但传统的机械式扫描激光雷达通常会有较大的体积、重量和功耗，同时成本高昂。因此，采用MEMS扫描微镜的混合固态激光雷达，被业界认为是最有望快速走向大规模量产及应用的解决方案。

同时，希景科技提供MEMS扫描微镜控制套件，可以满足广泛的客户应用需求，极大地缩短客户的产品开发时间。希景科技的二维MEMS扫描镜的镜面直径通常为数毫米，镜面采用金反射薄膜，可以满足大功率红外激光应用的要求。

希景科技在MEMS扫描微镜上集成了角度传感器，通过控制电路采集传感器的反馈信号以实现对MEMS扫描微镜的闭环控制。此外，希景科技还能够根据客户需求，提供如单轴谐振型微镜、单轴准静态微镜、指向型微镜等定制化产品及服务。希景科技开发的镜面直径为5mm的二维MEMS扫描微镜已经进入量产阶段，其主要性能指标如下：

表1 希景科技二维MEMS扫描微镜指标参数

为了加速客户的产品上市，方便客户更快地导入MEMS扫描微镜，希景科技还提供了基于MEMS扫描微镜的激光脉冲扫描开发模组。通过这款开发模组，用户可以设定激光脉冲扫描角度、扫描帧率、扫描线数，以及扫描脉冲的水平分辨率等参数。

图2 希景科技的激光雷达开发模组驱动板

图3 希景科技的激光雷达开发模组的软件控制界面