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来源:半导体设备资讯站发布时间:2021-11-141048浏览
询问 AI荷兰ASML目前在全球的光刻机领域地位已经不可小觑,不仅占有全球80%以上的市场份额,而且还是EUV光刻机的独家生产厂商。但大家可知,全球仅有3个国家能够自产光刻机,我国就是其中之一。但目前情况是,高端光刻机依然需要进口。

我国早在1971年,就成功研制出前道步进光刻机原型:激光干涉定位自动分步重复照相机。那时,ASML还没有成立。之所以能够突破,是因为当时国内的激光技术已经是世界一流。但遗憾的是,没有向民用半导体的应用领域推广,后来自然落后了。
另一个能够生产光刻机的国家是日本,也是因为当时能够生产高档照相机镜头和激光打印技术能力比较强,这主要就是日本的尼康和佳能。大家肯定都知道,他们的相机现在依然很牛。不过,在光刻机上,却被后起之秀荷兰ASML实现了两次超越。

第一次超越是在2004年,尼康是当时的光刻机生产巨头,佳能也差不多,而已经成立20年的ASML还没什么存在感,但它选择了被尼康、佳能等拒绝的台积电林本坚的浸润式光刻方案,让ASML一下崛起。尼康仅5年时间,就失去了50%以上份额。
第二次超越是在2015年,ASML成功实现EUV光刻机的量产。这重要得益于ASML通过自己的游说,作出某些承诺,加入了英特尔牵头搞的前沿组织EUV LLC,而尼康当时因为强大被美忌惮被拒绝。然后,ASML经过10年潜心研发终有成果。

第一次超越时,ASML和台积电共同实现了成长,并结下了深厚友情。第二次ASML实现超越,台积电、英特尔、三星都投入了巨大的人力物力,因此他们都有获得EUV光刻机的优先权。至此,ASML独家生产EUV光刻机,也垄断了全球光刻机市场。
ASML的成功背后离不开台积电的支持,而台积电能有现在的地位,也离不开ASML先进光刻机的支持。ASML目前为止生产的100余台EUV光刻机,台积电就占了一半。而中芯国际三年前就向ASML订购了一台EUV光刻机,至今仍然没有到货。

近期在上海举行的世博会,ASML再次来参展,关于光刻机又表明了态度。相比去年世博会的表态,时隔一年有一点变化一点不变。一点不变的是,EUV光刻机依然不能出货给我们,去年就说在等荷兰政府的出口许可证。看来,EUV光刻机依然限制。
还有一点变化,那就是DUV光刻机可以自由出货了。去年说道,必须在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口,还不确定能否出货。今年的态度变成了,除了EUV光刻机,其它产品都可以正常供货给我们。也就是说,DUV光刻机不再受限制了。

时隔一年,ASML态度上的一点变化一点不变,可以看出ASML一直在争取向我们出货。当然它也并不是好心,而是为了占据市场。为此,ASML还公开向美发出警告,限制出口结果很严重。那么,ASML可以自由出货DUV光刻机了,意味着什么呢?
第一,ASML可能获得一定许可。DUV光刻机现在可以正常出货,有两种可能:一种是现在不需要许可了,另一种就是ASML获得了许可。前段时间,就传出中芯国际获得了188份设备许可,这其中或许就有ASML申请的DUV光刻机供货许可。

第二,ASML更加重视大陆市场。其它产品都可以正常供货,就可以看出ASML对我国大陆市场的重视程度。毕竟我国市场的体量巨大,ASML肯定不会放弃。再次参加世博会,就是为了深化与我国客户合作,接下来还会加大投入,更好服务大陆客户。
第三,ASML应该感受到了危机。EUV光刻机不能卖给我们,我们还需要更多的中低端光刻机,包括DUV光刻机。这块市场,日本的尼康、佳能也在抢占,并且我国的上海微电子的技术也在不断提高。ASML再不供货,大陆这个巨大市场就没它的份了。

ASML其实一直在我国市场默默地布局,有11个仓储中心,2个研发中心等。据说,还在我国申请了约3000项光刻方面专利。因为ASML总裁早就明白,他曾说如果继续限制出口,我国将在15年内突破所有。但事实是,我们估计用不了15年时间,因为有关EUV光刻机的关键技术已经陆续突破,国产EUV光刻机不会太远了!
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