光刻机作为芯片研制中最为重要的设备一直受到各界的关注,而光刻机巨头ASML在2020年出售了258台光刻机,销售额 140 亿欧元,利润35.54 亿欧元;其中最先进的EUV光刻机交付 31台,总价值 45 亿欧元。但即使单台售价高达1.5亿欧元,EUV光刻机依然供不应求,直到今日国内芯片制造厂商还没有收到一台EUV光刻机。
仅仅依靠制造和销售光刻机,ASML市值就已经达到了 3421.74 亿美元,成为了欧洲市值最高的科技企业,甚至超过了西门子和大众的总和。由此可见光刻机在芯片制造中的地位究竟有多高。
“02专项”要求光刻机进行突破那么如此重要的光刻机我们国内有没有厂商可以制造呢?答案是肯定的,在众多国产光刻机制造商中,上海微电子可以说是技术最为先进的一家,在国家的“02专项”(极大规模集成电路制造技术及成套工艺)中,上海微电子就负责其中最为核心的193nm ArF准分子激光的干式和浸没式DUV光刻机(用于28nm芯片制造),也就是我们常说的28nm光刻机。其实自2020年开始,各种28nm光刻机下线的好消息层出不穷,但是在2020年已经过去,2021年都要面临结束的时候,国产28nm光刻机却依然难产,这究竟是为什么呢?原因或许多种多样,但是研发投入不足或许是其中一个重要因素。为了研制出28nmDUV光刻机,上海微电子10年间累计投入研发6亿人民币,虽然看起来很多,但实际上折合到每年的研发投入仅仅只有6000万元;作为对比,全球光刻机龙头AMSL在2020年的研发投入为22亿欧元,折合人民币高达162亿!两者研发投入的差距为270亿!要知道28nmDUV光刻机早就已经是上一代的技术,而制造最新5nm芯片的EUV光刻机所需要的技术和研发投入相比DUV光刻机更是要多好几倍。哪怕凭借着6000万的研发投入攻克了DUV光刻机,对于下一代的EUV光刻机我们又该怎么办?
联想高管年薪高达9.33亿在感叹光刻机研发投入不足的同时,我们不得不注意到另一组数据,那就是企业高管的年薪。以一直自称科技企业的联想为例,其CEO杨元庆的年薪高达2616万美元折合1.7亿人民币;而联想27名高管的年薪总和更是高达9.33亿——这也就意味着27名联想高管一年的年薪就是光刻机十年研发投入的1.5倍!在我们感叹芯片不足的时候确实应该反思一下在芯片产业上的投资力度是否存在不足,特别是在和企业高管年薪作比较的时候,更应该注意这一问题。要知道科技企业最为重要的依然是研发投入,研发投入不足的前提下给高管开出再高的年薪又有什么意义呢?