EDWARDS发布IXL120 面向真空半导体工艺应用

全球领先的真空设备供应商Edwards近日发布iXL120设备，拓展了其面向半导体制造工艺的干泵设备产品。iXL120具有专为负载时钟和其他清洗应用的设计，在同等产品中可达到最快速的抽取速度，同时还具有低能耗、高吞吐量的特点，降低拥有者成本。