大基金二期加持，国产半导体设备厂获4.2亿融资

来源：至纯科技公告

根据公告，旗下控股子公司至微科技本次拟引入投资方包括远致星火、大基金二期、混改基金、中芯聚源等。上述投资方合计向至微科技增资4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余34356万元计入资本公积。

本次增资后，至纯科技持有至微科技的股份由99.34%降至77.11%；大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡分别持有3.42%、3.42%、1.71%、1.03%、1.03%的股权。

来源：至纯科技公告

简单计算，大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡的投资金额分别为1亿元、1亿元、5000万元、3000万元、3000万元。

除了大基金二期，上述增资各方也是“颇有来头”。装备材料基金、芯鑫鼎橡都是大基金的“小兄弟”。大基金、万业企业分别持有装备材料基金的股权19.8%、19.8%。芯鑫鼎橡的股权结构显示，其最终控股股东为大基金的子基金芯鑫租赁。中芯聚源的背后则是中芯国际。