乔治亚理工学院订购STS公司Pegasus DRIE系统装备其纳米技术研究中心

等离子工艺设备厂商Surface Technology Systems plc (STS)日前宣布公司将一台Pegasus深反应离子刻蚀（DRIE）设备出售给了乔治亚理工学院（Georgia Institute of Technology）。后者是第一家订购此最新一代STS先进硅刻蚀(ASE®)系统的美国高校。这台设备预计将在2008年秋天最终将安装在该校新落成的纳米技术研究中心大楼（Nanotechnology Research Center Building）。乔治亚理工学院集成MEMS实验室主管、助理教授Farrokh Ayazi负责该设备的采购。他的研究团队拥有数台STS刻蚀和沉积设备，包括一台自2002年起用于MEMS和纳米技术研究的标准款ASE系统。