阿尔卑斯电气推出业界最小的压电式MEMS压力传感器

据日经BP社报道，阿尔卑斯电气推出了业界最小的压电式MEMS压力传感器。尺寸方面，压力传感器单个元件的小型型号为2.5mm×2.5mm×0.7mm。内置放大器的型号为3.5mm×3.5mm×1.0mm。主要用于检测气压及高度等绝对压力。

压电式MEMS压力传感器可轻松实现小型化的原因是，可直接将隔膜的弯曲量当作压电电阻元件的电阻变化来捕获，从而实现简单的元件结构。另外，通过采用薄膜工艺技术、微细加工技术及封装技术，也可减小传感器元件尺寸，使其达到业界最小。

压力检测的原理如下。来自外部的压力会使压力传感器的隔膜弯曲。如果隔膜弯曲，在隔膜上形成的压电电阻元件就会变形。这样一来，就可以将变形产生的电阻变化作为电压信号读取出来。

阿尔卑斯电气表示，通过采用以下3项技术，减小了压力传感器性能的不稳定性。这3项技术分别为：通过优化蚀刻条件，开发出了可形成稳定腔体（Cavity）结构的技术；实现了可减小外应力影响的Si-Si密封接合；采用了对温度变化适应性强的陶瓷材料。

阿尔卑斯电气将在08年9月30日～10月4日于幕张Messe国际会展中心举办的“CEATEC JAPAN 2008”上展出此次的MEMS压力传感器。