Eco-Snow二氧化碳系统协助清洗MEMS传感器
来源:曹明霞发布时间:2018-10-121589浏览
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Linde Group旗下Eco-Snow Systems已开发了用于微机电系统（MEMS）行业的自动化清洗技术，可帮助降低缺陷率和提高设备可靠性。
Eco-Snow System是一家面向半导体行业的自动二氧化碳（CO2）晶圆清洗工具和工艺供应商。
两家美国著名MEMS制造商已安装Eco-Snow VersaClean(TM)系统和Eco-Snow WaferClean(TM)系统，分别用于清洗封装元件和用于在切割晶圆前清洗已发布设备。
Eco-Snow Systems总经理Joe Clark说：我们的客户已认识到，Eco-Snow自动二氧化碳雪清洗技术可有效清除MEMS晶圆、已发布设备和封装元件表面残留的污染物。
清洗是MEMS应用领域的一项关键工艺，旨在避免外部材料引发的设备故障。MEMS设备表面或其封装内部停留的小颗粒，是造成设备不合格的主要诱因。
Clark说：Eco-Snow工具尤其符合MEMS加速计市场需求。我们可在晶圆表面或封装内部执行温和清洗或强力清洗。全面烘干工艺能够以独特的方式移除加速计臂梁上停留的颗粒，既不带走抗粘附润滑剂，也不损害设备机能。
位于加州Pleasanton的Semiconductor Outsourcing Solutions MEMS顾问兼创始人Marc Papageorge说：Eco-Snow可为后端装配MEMS供应商清除污染物，以避免其进入封装内提供一种卓越的解决方案。Marc Papageorge的职责是帮助制造商采购符合自身工艺要求的最佳产品。
二氧化碳雪是一种干固体，其作用是利用雪颗粒来吸附材料中的污染成分。Eco-Snow技术易于维护、既经济又可靠，便于整合至前后端生产线。
与传统润湿清洗相比，Eco-Snow工艺具有成本效益，并可最小化环境影响。二氧化碳的温室效应大大低于清洗溶剂。
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