TDLAS技术在气体激光传感系统方面的发展前景

TDLAS是Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy（可调谐半导体激光吸收光谱 ）的简称。该技术主要是利用可调谐半导体激光器的窄线宽和波长随注入电流改变的特性实现对分子的单个或几个距离很近很难分辨的吸收线进行测量。

TDLAS通常是用单一窄带的激光频率扫描一条独立的气体吸收线。为了实现最高的选择性，分析一般在低压下进行，这时吸收线不会因为压力而加宽。这种测量方法是Hinkley和Reid提出的，现在已经发展成为了非常灵敏和常用的大气中痕量气体的监测技术。

该技术具有测量精度高，可达ppm（百万分之一）量级；准确度高，可检测混合气体中的特定成分气体；响应速度快，可达毫秒响应量级；使用光学方式检测，可抗干扰和防爆特性，可用于易燃易爆气体监测。掌握了自主知识产权，就可定制化生产，满足不同行业气体监测需要。

本项目由中国航天空气动力技术研究院北京航天易联科技发展有限公司、中国科学院电工研究所、中国科学院半导体研究所联合研制。半导体拥有半导体激光器研制和光电子封装技术优势、电工所拥有结构设计、电子电路优势，易联公司拥有航天军工工艺、产品化、市场推广的优势，三家优势互补，推动气体传感器的研制和产品化。

国内主要是90年代末期开始，发展较快，特别是近十年来，以中科院安徽光学精密研究所、中科院半导体所为代表的国内科研机构，在环境监测，生态测量等方面，出了很多研究成果。