沈阳IC装备基地升格“国家级” 投入资金4亿元

　　
　　沈阳集成电路装备产业始建于2002年，累计投入资金4亿多元。经过多年的建设，集成电路装备生产企业已从最初的两家发展到现在的37家，其中，骨干企业达到11家，申报专利近100项。基地主导产品已在国内半导体加工、医疗器械、太阳能电池等行业得到广泛应用。