芯片揭秘 | 刻蚀、清洗必不可少？聚焦电子气体重要分支——含氟特气！

芯片揭秘主播 幻实（右）对话

福建德尔科技有限公司技术总监张奎（左）

目前全球电子气体市场中，含氟特气约占总量的30%左右，是电子特种气体的重要组成部分，在半导体领域主要用于制作清洗剂、蚀刻剂，也可用于制作掺杂剂、成膜材料等。

在我国，由于相关技术提升和国家的高度重视，逐渐实现了部分含氟特气的自主规模化生产，包括CF4、CHF3、 CH2F2、CH3F、C2F6、SF6、NF3、BF3、COF2等。

在半导体制造过程中，含氟特气有着哪些应用？中国含氟特气的产业现状是怎样的？

随着半导体产业的发展，含氟特气将呈现怎样的发展趋势？中国含氟特气市场与国外相比有何异同？

本期我们邀请到福建德尔科技有限公司技术总监张奎先生，听他谈谈电子气体的重要分支含氟特气在半导体产业中的应用。

以下内容由对话音频整理

• 含氟特气——半导体制程的必需品

• 想要进军特气行业？先过了这几个关卡

• 全力推进含氟特气国产化

含氟特气——半导体制程的必需品

幻实（主播）

本期芯片揭秘邀请到了福建德尔科技有限公司的技术总监张奎先生。德尔科技的规模不小，已经开始准备进入IPO的阶段了。我想请张总先介绍一下德尔科技的业务。

张奎（嘉宾） 

福建德尔科技有限公司的主要业务分为几个板块：

板块一是德尔科技为上游企业生产的化工产品“无水氟化氢”，目前产品质量在国内属于一流水平；

板块二是“含氟特气”，公司前期投产了高纯的六氟化硫以及四氟化碳，后续也有近十个产品陆续投产，其中包括电子级的三氟甲烷、八氟环丁烷、六氟乙烷、一氟甲烷，三氟甲烷还有八氟丙烷等等。我们还承担了国家“02专项”里三氟化氯的研制，大概在5月份左右就可以试产，我们希望成为国内甚至国际上含氟特气规模最大，品种最齐全的一家专业化的公司；

板块三是“湿电子化学品”，我们在这个领域内引进了一些高层次的人才，他们都是原来在国际大公司从事这方面工作很多年的精英，目前公司可生产高纯的硫酸、电子级的氢氟酸等等这一系列的湿电子化学品，纯度可以达到11N。

我们今天聊的主要话题还是含氟电子气体。

幻实（主播）

气体是一个比较小众的行业，不是特别好做，您当初为什么会选择这个行业呢？

首先，福建德尔科技不是一个平地而起的公司，我们的主要团队都是来自原来的中国核工业集团（中核红华特种气体股份有限公司）。1986年左右开始，我们就使用氟气作为中间原料生产六氟化硫、四氟化碳等等这些含氟的气体，并成为国内同业技术、市场领先者。

我们之所以会进入含氟气体市场是因为我们有制作工业级氟气的专业水平。众所周知，中国的原子能工业是从苏联引进的，我们的电解槽从最早的2000A高温电解槽到3000A、4000A、5000A，一直到现在的10000A的电解槽，我们在氟气的制造上深耕了有接近30年的时间。

是的，我们一开始定位就是走高端的电子气体方向。我们的团队中也有来自于国际半导体气体公司（液空、林德等）的成员。所以我们2014年建厂，2015年我们的产品就达到了电子级的规模。

与国内做电子级的六氟化硫或四氟化碳的厂家相比，我们的精馏设计是国家级专家参与设计的，他们都非常有经验，而且我们的工业级六氟化硫和电子级六氟化硫是分开设计的。电子级六氟化硫是采用三级精馏的方式，一般的一级精馏做到4N的程度就很好了，好一点的用二级精馏，但我们是三级精馏，所以说我们的纯度是最高的。目前从用户反馈的情况看，纯度都在5.5N以上，也就是99.9995这个水平级别。四氟化碳，我们已经做到了6N，处于国际领先。

（图片来源：福建德尔科技官网）

德尔科技作为本土的一家公司，在国内的市场上有没有你们的竞争对手呢?

目前部分友商也在慢慢往这个方面发展。相对来说，我觉得我们的优势还是比较明显的，一个是资源优势，我们集团有自己生产的氢氟酸，可以整合产业链。

另外是技术优势，我们有做电子气体的专家，有精馏设计的专家，有综合的团队。

目前为止我们的客户有东芝、三星、台积电、天马微电子以及中芯国际等。

那您觉得做含氟特气的挑战在哪里？

我觉得第一个挑战是要耐得住寂寞，尤其现在的人比较浮躁，我们从业几十年，很多的经验都是一点点摸索出来的。

第二个挑战是含氟特气的危险性，因为氟气是自然界中最活泼的元素，没有很多年的工程经验和实践经验是没办法驾驭它的。

第三个挑战是含氟特气的质量，必须严格要求，来不得半点马虎，比如要控制好微量的水份、微量氧、微量颗粒杂质等，要严格的按照半导体制程对气体质量的要求去控制。

是的，我们每年都要邀请我们的客户，比如东芝、三星等企业来进行至少一到两次的现场审核，客户也会提供宝贵的意见，大家互相磨合，共同进步。

幻实（主播） 

因为中国的半导体产业起步相对较晚，所以我们国外的客户暂时多一些，比如芯片产量最大的台积电、存储器方面的东芝等。

面对国内半导体产业的新趋势，您对未来有着什么样的规划或期许呢？

中国的半导体行业现在是方兴未艾，未来会迅速发展。我们德尔科技也希望能在自己的这几个板块上继续深耕，争取把它做大做强，并且让产品的质量能够有一个巨大的飞跃。

从用户的角度出发，我们希望我们的产品具有更强的竞争力，包括成本、物料运输、以及公司服务方面都能继续提升。

幻实（主播） 

据我所知很多晶圆厂希望周边有配套的气体制造厂，这就需要你们提供特气的属地化服务，这对公司管理上是不是又是一个新的要求？

对，如果客户有这方面的需求，那我们也会加大这方面的投入，解决客户的困扰，争取做到最好的服务。

最后想问一下张总，您想借我们芯片揭秘的平台对外发出一个什么样的呼吁或者是号召呢？

我希望我们中国特气行业的同行们一起努力，在各自的领域实现中国特气的国产化，也希望德尔科技成为特气行业的引领者，大家一起加油！谢谢！

（图源：氟化工产业圈）

在整个半导体行业的生产过程中，从芯片生产到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，电子特气的质量高低成为制约电子行业发展的重要因素，电子特气的纯度每提高一个数量级，都会极大地推动半导体器件质的飞跃。

综合来看，我国含氟特种气体在国产化道路的进程已取得了阶段性的进步。下游半导体行业的迅猛发展，对含氟特种气体需求快速增长，与此同时，中美贸易的摩擦也进一步加剧了含氟特种气体国产化的迫切需求。由此看来，含氟特种气体国产化替代是必然趋势，未来也将面临更多机遇与挑战。